판매용 중고 CANON FPA 3000 i4 #9121239

ID: 9121239
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1995
i-Line stepper, 8" Reticle: 6" I/F: Mark-8 1995 vintage.
CANON FPA 3000 i4는 고급 반도체 제조를 위해 설계된 최첨단 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 장비는 미세 밀리미터의 정확도로 웨이퍼 정렬 (wafer alignment) 및 이미징 (imaging) 프로세스를 수행할 수 있으며 미세한 작은 기능으로 매우 정밀한 웨이퍼를 생성합니다. 이 도구는 이미징을 위해 레티클을 자동으로 로드하고 배치하는 4 척 레티클 단계를 특징으로합니다. 스테퍼는 표준 및 사용자 정의 포토 마스크 패턴을 모두 처리 할 수 있습니다. 또한 향상된 이미징 기능을위한 고속 광학 시스템 (High Speed Optical System) 과 정확한 위치 제어를 위한 전동 렌즈 장치 (Motorized Lens Unit) 도 포함되어 있습니다. 스테퍼는 트렌치, 커버, 인터럽트 샷을 포함한 여러 노출 유형을 지원합니다. 또한 이미지 해상도 및 명암비 (contrast) 를 높이기 위해 여러 번 노출 된 강화 된 카메라 머신을 갖추고 있습니다. 또한 업데이트된 파형 생성기와 컨트롤러는 패턴을 세밀하게 조정합니다. 캐논 FPA-3000I4 (CANON FPA-3000I4) 는 스테퍼 내에서 입자 오염을 효율적으로 최소화하고 이미징 중 주변 환경의 영향을 줄이기 위해 설계되었습니다. 이를 통해 제품의 품질을 극대화할 수 있습니다. 또한 FPA 3000I4 는 고급 기능 인식 소프트웨어를 자랑하며, 이 소프트웨어는 웨이퍼 모양의 차이를 자동으로 보완합니다. 이는 웨이퍼의 곡률에 관계없이 이상적인 이미징 정렬을 보장합니다. 이 스테퍼는 강력한 CPU로 구동되며 높은 데이터 대역폭과 기가비트 이더넷 (Gigabit Ethernet) 연결을 갖추고 있습니다. 이렇게 하면 패턴 작업 중 처리 시간이 단축되고 데이터 전송이 원활해집니다. 이 도구는 300mm, 200mm 및 125mm 웨이퍼로 패턴화 할 수 있습니다. 이 다양성을 통해 다양한 장치와 구성 요소를 생산할 수 있습니다 (고급 설계를 통합한). FPA 3000 I 4 (FPA 3000 I 4) 는 가장 엄격한 업계 표준을 충족하는 것으로 입증되었으며, 많은 주요 제조업체가 널리 채택하고 신뢰하고 있습니다. 앞으로 몇 년 동안 안정적이고 정밀도가 높은 성능을 제공하므로, 고급 반도체 제작을위한 와퍼 (go-to-wafer) 스테퍼가되었습니다.
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