판매용 중고 CANON FPA 3000 i4 #9121238

CANON FPA 3000 i4는 시장에서 가장 높은 정확도와 크기 기능을 갖춘 웨이퍼 스테퍼입니다. 완전 자동화된 이 장비는 광자 석판화 스테퍼 (photon lithography stepper) 로, 첨단 대규모 통합 (A-LSI) 장치와 독자적인 스캐닝 메커니즘과 같은 CANON 오리지널 기술이 적용되어 현장에서 높은 성능과 신뢰성을 제공합니다. 시스템은 기본 장치, 광학 헤드 및 패턴 생성기로 구성됩니다. 주요 장치는 안정성과 정확성을 보장하는 무거운 듀티 프레임입니다. 또한 정밀 공급 메커니즘이 장착되어 있으며, 광학 헤드의 부드러운 움직임을 3 차원으로 보장하고, 포지셔닝 정확도를 향상시키는 고밀도 도량형 장치 (High Precision Metrology Unit) 와 빠르고, 효율적이며, 정확한 스캐닝을 위한 원통형 모터가 장착되어 있습니다. 광학 헤드는 1 차 수차 교정 렌즈 머신으로 구성되어 있으며, 최대 25mm의 웨이퍼 직경에서 4 nm 라인 위드의 뛰어난 화질과 해상도를 제공합니다. 가열 기능이 있는 환경실 (Environmental Chamber) 도 최고의 작업 조건과 꾸준한 프로세스를 보장하기 위해 광학 헤드의 일부입니다. 패턴 생성기 (pattern generator) 는 회로 패턴을 웨이퍼로 전송하는 데 사용되는 투영 광학 컴포넌트입니다. 이 제품은 빠른 처리 속도 (process speed) 및 시퀀싱 기능을 제공하기 위해 듀얼 픽셀 칩 (dual pixel chip) 을 장착하여 다양한 회로 패턴 및 노출과 함께 사용할 수 있습니다. CANON FPA-3000I4는 최대 2.5m 해상도에서 4nm 라인 폭을 제공 할 수 있으며, 고급 포장을 포함한 모든 수준의 반도체 생산에 이상적입니다. 스텝퍼 (stepper) 기술은 인쇄· 전자 등 다양한 업종의 대형 부품 제작에도 적용된다. 완전 자동화된 환경 (Fully Automated Environment) 및 디지털 운영 (Digital Operation) 과 함께, 이 자산은 광범위한 어플리케이션에 대한 최고 수준의 정밀성과 신뢰성을 보장합니다.