판매용 중고 CANON FPA 3000 i4 #9121236

CANON FPA 3000 i4는 정밀 웨이퍼 스테퍼로, 매우 정밀하고 처리량이 많은 생산이 가능한 다양한 기능을 갖추고 있습니다. 이 장치는 고급 3D IC, 마이크로 머시닝, 광학 부품 및 기타 고정밀 응용 프로그램을 위해 설계되었습니다. CANON FPA-3000I4는 고성능 I 라인 소스를 사용하며, 최소 척 크기가 150mm, 최대 450mm인 4, 6 및 8 "웨이퍼 중에서 선택할 수 있는 옵션으로 최고의 균일 성을 생성하도록 최적화되었습니다. FPA 3000I4는 특허를받은 TMM (Two-Step Hyperbolic Mirror System) 기술로 설계되어 전체 노출 분야에서 우수하고 균일 한 조명을 제공합니다. 이것 은 "마이크로 렌즈 '배열 에 의하여 향상 되는데, 이" 렌즈' 배열 은 노출 장 을 필요 한 크기 로 제한 시키고 또한 초점 의 깊이 를 향상 시키도록 설계 되었다. 이는 노출 결과의 최대 정확성과 재현성을 보장합니다. 또한 FPA-3000I4는 수차를 줄이고 정렬 문제를 제거하는 독점 광학 기술을 갖추고 있습니다. 여기에는 일련의 화합물 및 대칭 렌즈, 편광 빔 스플리터, 프리즘 세트 및 홍채 조립이 포함됩니다. 이를 통해 장치는 광학 경로 (optical path) 내에서 수차를 효율적으로 유지하고, 빛의 파면 (wavefront) 오류를 정확하게 제어할 수 있습니다. 이렇게 하면 작동 중 웨이퍼가 매우 정확하게 노출됩니다. 또한 FPA 3000 I 4는 다이 투 다이 (die-to-die) 노출 제어를 통해 노출 정확도를 최적화하여 각 장치의 고품질 이미지를 제공합니다. 이 장치는 렌즈 스루 (through-the-lens) 웨이퍼 정렬 및 포커스가 가능한 자동 웨이퍼 처리 시스템을 사용합니다. 이 외에도, 장치는 또한 150mm 척 직경을 가지며, 하중 용량은 척당 4kg입니다. 이를 통해 장치가 다양한 산업 응용 프로그램을 처리 할 수 있습니다. CANON FPA-3000 I 4에는 전체 데이터 분석뿐만 아니라 노출 계산, 구성, 패턴 생성을 사용할 수 있는 라이센스 소프트웨어 제품군이 장착되어 있습니다. 또한 온보드 프로세스 모니터 (on-board process monitor) 를 통해 간단하고 의미있는 데이터 분석을 수행할 수 있습니다. 이 외에도 안전 장치 (Safety System) 는 시스템 손상 위험을 줄이고 원활한 작동을 보장하도록 설계되었습니다. CANON FPA 3000I4는 최고급 정밀 웨이퍼 스테퍼입니다. 또한 다양한 기능을 통해 최고의 정확성과 처리량을 보장합니다. 여기에는 수차를 줄이기 위해 고성능 I-line 소스, TMMS 기술, 마이크로 렌즈 어레이 및 독점 광학 기술과 같은 기능이 포함됩니다. 또한, 전체 데이터 분석을 위해 자동 웨이퍼 처리 (Automated Wafer-handling), 소프트웨어 제품군 및 온보드 프로세스 모니터도 갖추고 있습니다. 이러한 모든 기능을 함께 사용하면 사용자가 최상의 품질의 결과를 얻을 수 있습니다 (영문).