판매용 중고 CANON FPA 3000 i4 #293607519
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ID: 293607519
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1994
i-Line stepper, 8"
Does not include Hard Disk Drive (HDD)
1994 vintage.
CANON FPA 3000 i4는 반도체 제조 및 테스트에 사용되는 CANON의 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 장비에는 4축 정렬 시스템이 내장되어 있어 경량 노출 (Light Exposure) 및 레이저 정렬 시 웨이퍼를 정확하게 정렬할 수 있습니다. 이 제품은 0.2 미크론 (미크론) 까지 피쳐 크기를 만들 수 있으며 최대 해상도는 0.5 미크론 (픽셀) 입니다. 이 장치의 독특한 특징 중 하나는 NDUV (near-ultraviolet) 광원이며, 이는 긴 파장 (UV-A) 과 짧은 파장 (UV-B) 조명을 모두 제공합니다. 이를 통해 구리 (copper) 와 고 (high-k) 유전체와 같은 반도체 물질을 해결하기 어려운 작업에서도 이미지와 정확한 측정값을 대비하고 선명하게 만들 수 있습니다. 스테퍼는 고급 스캐닝 머신 (scanning machine) 을 사용하여 미세한 세부 사항에 정확하게 집중하고 이미지 번짐을 방지합니다. 기존 하이엔드 스테퍼보다 훨씬 빠른 최대 2.3 µm/s에서 스캔 할 수 있습니다. 또한, NA 가 최대 0.5 인 렌즈를 포함하여 다양한 옵틱 및 렌즈를 지원할 수 있습니다. 이 도구는 CCD 카메라를 포함한 여러 유형의 감지 장치와 통합 될 수 있습니다. 또한, 정확하고 일관된 결과를 얻기 위해 온도, 습도, 비활성 가스와 같은 많은 환경 조절이 특징입니다. CANON FPA 4000 i4 역시 확장 가능하며, 다양한 다른 센서 및 장치를 추가할 수 있습니다. 마지막으로, 자산에는 먼지 보호, 셔터 제어, 자동 종료 등 다양한 안전 기능이 있습니다. 또한 운영자 상태 모니터링 (health monitoration) 이 포함되어 있어 Cleanroom 환경에서 사용할 수 있도록 안전합니다. 캐논 FPA-3000I4 (CANON FPA-3000I4) 는 높은 정확도와 속도로 반도체 웨이퍼를 나노 미터 수준으로 측정 및 노출 할 수있는 최첨단 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 제품은 다양한 기능과 다용도 플랫폼을 통해 다양한 업종에 걸쳐 IC 솔루션을 선택하기에 이상적인 솔루션입니다.
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