판매용 중고 CANON FPA 3000 i4 #293606921

CANON FPA 3000 i4는 수십 년 동안 웨이퍼 스테퍼 기술의 연구 및 발전의 결과입니다. 이 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 는 장치 제작에 대해 높은 수준의 정밀도와 정확도를 제공하므로, 여러 애플리케이션에 이상적인 선택입니다. CANON FPA-3000I4는 최고 4800 wfers-per-hour (wph) 의 속도 사양과 0.21äm의 해상도를 갖춘 업계 최고의 성능을 제공합니다. 최대 125mm (125mm) 의 전체 시야를 활용하며, 무인 성능을 제공하여 일관된 초점과 정확한 패턴화를 보장합니다. 광원은 크립탄 중공 음극 램프 (kryptane hollow cathode lamp) 이며, 각 노출에 필요한 출력을 정확하게 생성 할 수 있습니다. FPA 3000I4 는 2 차원 XY (XY) 단계를 활용하며, 빠른 가속과 낮은 진동과 함께 원하는 설정에 배치 할 수있는 웨이퍼 플로어를 사용합니다. 또한 "얼리인지먼트 '장치 는 크기 가 25nm 나 되더라도" 마아크' 를 정확 하게 인식 할 수 있는 매우 정밀도 를 제공 한다. 또한 FPA-3000I4 는 고급 사용자 친화적 Canirecord EX-L 소프트웨어를 탑재하여 프로세스 자동화 및 실시간 모니터링을 위한 다양한 옵션을 제공합니다. 직관적이고 성능이 뛰어난 이 플랫폼을 통해 사용자는 와퍼 (Wafer) 수준까지 프로세스를 모니터링하여 정확도를 높이고 활용도를 높일 수 있습니다 (영문). FPA 3000 i4는 또한 강력한 200mm CCD 이미징 시스템을 갖추고 있으며, 결함 감지, 고 동적 범위 이미징, 오버레이 측정, 3 차원 측정 등 높은 수준의 정확도로 다양한 검사를 수행 할 수 있습니다. 전반적으로 CANON FPA-3000 I4 는 매우 진보된 기술로, 다양한 기능과 기능을 제공합니다. 최첨단 (최첨단) 기능은 안정성과 응답성과 더불어 다양한 정밀 구성 (precision fabrication) 어플리케이션에 이상적인 선택이 됩니다.