판매용 중고 CANON FPA 3000 i4 #293605760

CANON FPA 3000 i4는 반도체 제조에 사용되는 고급 EUV (Extreme Ultra-Violet) 석판 스캐너입니다. 높은 정밀 리소그래피 프로세스를 제공하기 위해 설계된 안정적이고 고급 웨이퍼 스테퍼입니다. i4는 이중 열 구조를 가지고 있으며 2 단계 스캔 플랫폼과 고도로 통합 된 웨이퍼 처리 시스템으로 구성됩니다. 또한 CANON '롤 스캐너' 기술을 사용합니다. 즉, 이미지 데이터는 웨이퍼 (wafer) 표면에 노출된 후 전자적으로 등록되므로, 빠르고 정확하게 전송, 등록할 수 있습니다. CANON FPA-3000I4 웨이퍼 스테퍼는 13.5nm 파장의 레이저 소스를 가지고 있으며, 이는 웨이퍼에 더 정밀하고 매우 정확한 패턴 배치를 가능하게합니다. 또한 i4는 최대 12kHz (최대 12kHz) 의 높은 반복 속도를 포함하여 단일 샷에서 큰 노출이 가능합니다. i4 는 처리 속도가 높아 최대 400wpm 의 생산성 향상 (분당 웨이퍼 수) 을 제공합니다. 이는 높은 반복율 (high repetition rate) 과 신속한 데이터 전송 (rapid transfer) 과 듀티 사이클 (duty cycle) 사이의 짧은 준비 시간 (preparation time) 에 의해 가능합니다. "웨이퍼 스테퍼 '는 또한 가속 과 진동 으로 인한" 패턴' 의 왜곡 을 최소화 하는 훌륭 한 공명 검사 장치 를 가지고 있다. 이것은 장치 패턴 형성에 높은 정확성을 허용합니다. 마지막으로, 낮은 열 드리프트 및 독립적 인 안정 렌즈 시스템을 사용하여 수차 및 왜곡 방지를 돕습니다. 이를 통해 웨이퍼 (wafer) 에 패턴이 정확하게 노출되므로 반도체 장치의 생산량 및 비용 성능이 향상됩니다. 요약하자면, FPA 3000I4 웨이퍼 스테퍼는 고급 반도체 장치 제조에 적합한 고급, 신뢰할 수있는 리소그래피 기계입니다.