판매용 중고 CANON FPA 3000 i4 #293604649
URL이 복사되었습니다!
확대하려면 누르십시오
ID: 293604649
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 1995
i-Line stepper, 6"
Absolute distortion NA 63 sigma 65:
DX: ≤0.050 µm
DY: ≤0.050 µm
Focus range: <0.25 µm
Mag range: <2 ppm
Resolution:
L/S: 0.35 µm
Depth of focus:
0.35µm L/S and 0.5µm ISO: ≥0.8 µm
Image field deviation:
0.35µm L/S and 0.5µm ISO: ≤0.5
Missing lots parts
1995 vintage.
CANON FPA 3000 i4는 반도체 제작에 사용되는 포토 리토 그래피 장비 인 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 스테퍼는 강력한 싱크로스칸 (syncroscan) 시스템과 독특한 4 빔 광원을 사용하여 대량 생산을위한 뛰어난 이미징 성능을 제공합니다. 이 장치는 높은 처리량, 뛰어난 오버레이 정확도 및 기타 여러 고급 기능을 갖추고 있습니다. CANON FPA-3000I4 스테퍼에는 4 빔 프로젝션 렌즈와 동기 스캔 미러 스캐너가 장착되어 있습니다. 이 기계는 0.5 NA 렌즈로 구동되며 뛰어난 균일 성, 작은 반점 크기, 높은 명암비를 제공합니다. 이를 통해 싱글 빔 (single-beam) 시스템에서는 달성하기 어려운 작은 모양을 인쇄할 수 있습니다. 고급 Optic 및 알고리즘을 사용하여 보다 빠른 스캐닝 및 이미지 처리 속도를 제공합니다. 이 도구는 정확한 위치와 추적 가능성을 위해 고정밀 X-Y 스테이지도 갖추고 있습니다. 이 단계는 강력한 제어 알고리즘으로 지원되며, 빠르고 정확한 움직임을 보장합니다. 최대 3000 nm/s까지 이동할 수 있습니다. 또한, 0.02nm의 해상도를 가지며, 그 어느 때보 다 작은 피쳐 크기와 더 높은 정밀도를 가능하게합니다. 또한 FPA 3000I4는 마이크로 범프 정렬 기술을 사용하여 기판 배치를 원활하게 수행하고 신속하게 정렬할 수 있습니다. 에셋은 최대 8 인치 크기의 웨이퍼를 수용하도록 구성될 수 있으며, 시간당 최대 16 개의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 이 모델에는 직관적인 작업 공간 제어가 포함된 직관적인 UI 를 제공하는 소프트웨어 패키지가 함께 제공됩니다. 전반적으로 FPA 3000 I 4는 대량 생산을 염두에두고 설계된 매우 고급 웨이퍼 스테퍼입니다. 뛰어난 이미징 성능과 처리량을 제공하며, 정확한 정렬 및 추적 기능을 제공합니다. 이 장비는 안정적이고 효율적인 리소그래피 솔루션을 찾는 생산 시설에 적합합니다.
아직 리뷰가 없습니다