판매용 중고 CANON FPA 3000 i4 #293591997

CANON FPA 3000 i4는 반도체 처리에 사용되는 웨이퍼 스테퍼입니다. 광범위한 노출 기술로 미세한 차원의 정확도를 제공하도록 설계되었습니다. CANON FPA-3000I4에는 큰 숫자 조리개 (NA) 와 줌 (Zoom) 형 투영 장비가 있어 생성 할 수있는 이미지의 해상도와 정확도를 높입니다. 이 시스템은 각 노출에 소요되는 시간을 줄이고, 달성된 결과의 정확성을 높이도록 설계되었습니다. 즉, 각 노출에 소요되는 시간을 줄이고, FPA 3000I4에는 고광도 출력과 뛰어난 이미징 성능을 제공하는 4 개의 고급 사진 열이 있습니다. 또한 2 개의 CCD 세트, 6 위치 자동 정렬 장치 및 정교한 프로그래밍 가능한 웨이퍼 포지셔너가 있습니다. 고급 정렬 장치 (Advanced Alignment Machine) 는 각 다이 또는 디자인에 대한 정확한 중복과 노출을 보장합니다. 프로그래밍 가능한 웨이퍼 포지셔너 (wafer-positioner) 는 정확성과 반복성을 갖춘 다중 세대 및 다중 레이어 설계를 만들 수 있습니다. FPA 3000 i4에는 레이저 직접 쓰기 (LDW), 전자 빔 (EB), 이온 빔 (IB) 및 감마선 (GR) 을 포함한 광범위한 노출 기술이 있습니다. LDW 는 0.1 "미크론 '정도 의 작은" 패터닝' 을 만드는 데 사용 될 수 있으며, EB 는 더 작은 "디테일 '을 만드는 데 사용 될 수 있다. IB 및 GR을 사용하여 0.01 미크론까지 더 세밀한 세부 사항을 생성 할 수도 있습니다. FPA-3000 I 4 는 광범위한 애플리케이션에서 작동하도록 설계되었으며, 다양한 애플리케이션 영역의 요구 사항을 충족할 수 있습니다. CANON FPA 3000I4는 또한 ESD (정전기 방전), 레이저 안전 및 기타 위험으로부터 보호하기 위해 전체 스펙트럼 보호 기능을 제공하도록 설계되었습니다. 내장형 안전 (Safety) 기능은 위험을 줄이고 안전한 작업 환경을 보장하도록 설계되었습니다. 또한 FPA 3000 I 4 는 높은 수준의 정확성과 반복성을 제공하여 더 나은 결과와 높은 수율을 제공합니다. 고성능 기능을 갖춘 FPA-3000 I4 는 매우 정밀하게 복잡한 패턴을 만들 수 있는 비용 효율적인 방법을 제공합니다. 이 도구 는 "반도체 '산업 에서 가치 있는 도구 임 이 증명 되었으며, 생산량 을 증가 시키고 수익 을 극대화 하는 데 도움 이 될 수 있다.