판매용 중고 CANON FPA 3000 i4 #293587251

CANON FPA 3000 i4는 고급 고성능 석판 노출 기능을 제공하기 위해 설계된 스캐너, 스테퍼, 석판화 장비입니다. 이 시스템은 레티클 (reticle) 과 포토 마스크 (photomask) 와 웨이퍼 (wafer) 의 레티클 노출이 아닌 고급 광학 이미징 및 패턴화와 관련된 다양한 응용 프로그램을 처리하도록 조정되었습니다. CANON FPA-3000I4는 반도체, 생명 과학, 생명 공학, 광전자 연구 및 개발을 포함한 여러 산업에 사용될 수 있습니다. 이 장치는 반복 가능하고 안정적인 결과를 제공하며, 다양한 프로세스와 재료에 뛰어난 화질을 제공합니다. 향상된 성능을 위해 FPA 3000I4는 Deep-UV CANON ARCOS 및 벡터 스캔 지원을 포함한 최신 이미징 기술을 통합하여 최대 150mm/sec 의 스캐닝 속도를 제공합니다. 이 기계는 고급 3 축 광학 스테이지와 F-Theta 렌즈를 사용하여 전체 프로세스 전반에 걸쳐 매우 정확한 정렬 및 초점을 제공합니다. 이렇게 하면 모든 노출 상태의 처리 재료에 대해 정확하고 정확한 패턴 노출을 보장할 수 있습니다. 또한 FPA-3000I4는 정확도 지수가 0.2äm 이상인 ± 1äm 정확도를 제공하는 고정밀 정렬 도구를 갖추고 있습니다. FPA 3000 I 4 는 안정성이 높아 지속적으로 정확하고 안정적인 노출 성능을 제공하도록 설계되었습니다. 이를 위해, 자산은 전체 노출 주기에 걸쳐 우수한 프로세스 안정성을 보장하는 수많은 기능을 제공합니다. 여기에는 견고한 진공 모델, 폐쇄 루프 컨베이어 제어 장비, 신뢰할 수있는 전원 공급 장치, 정교한 온도 제어 시스템이 포함됩니다. 이 장치는 또한 많은 사용자 친화적 인 기능을 제공하여 쉽게 작동 할 수 있습니다. 이미지 매개변수 및 노출 설정을 제어하기 위한 직관적인 GUI (Graphical User Interface) 를 제공합니다. 또한이 시스템은 GDSII, OASIS 및 TIFF를 포함한 다양한 데이터 형식을 지원합니다. 정확하고 정확한 리소그래픽 노출을 위해 CANON FPA 3000 I 4는 고급 이미징 및 패턴화 기술, 정확한 정렬 기능, 사용자 친화적 기능을 조합하여 제공합니다. 이를 통해 다양한 산업에 이상적인 솔루션이 될 수 있습니다.