판매용 중고 CANON FPA 3000 EX6 #293817785

CANON FPA 3000 EX6은 반도체 생산 및 연구 개발을 위해 설계된 웨이퍼 스테퍼입니다. 6 배 (6X) 감축 비율의 고급 스테퍼로, 더 높은 균일성과 오버레이 성능을 제공하며, 최대 300mm 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. CANON FPA-3000EX6은 최신 CANON 현장 검증 석판화 장비입니다. 고도의 정밀 석판화 성능을 달성 할 수있는 획기적인 소형 스테퍼입니다. 그것은 훨씬 더 정확성과 균일성으로 변환되는 6X 감소를 특징으로합니다. 이 6X 감소 비율과 더 높은 오버레이 정렬 정확도로, 1.5 nm 작은 기하학적 결함을 생성합니다. 이 시스템은 또한 365nm에서 248nm 사이의 특수 포토 esist를위한 광범위한 노출 파장을 특징으로합니다. FPA 3000 EX6은 특수 마스크 이미징 방법을 사용하여 탁월한 마스킹 정확성과 균일성을 제공합니다. 특수 광학 장치 및 마스크 없는 리소그래피 기술은 가능한 가장 높은 정확도와 균일 성을 제공합니다. 또한 초속 4mm까지 이동하고 10 초 안에 웨이퍼를 정확하게 스캔 할 수있는 고급 고속 스캔 스테이지가 있습니다. 이 기계는 가장 높은 수준의 프로세스 제어 (Process Control) 를 제공하도록 설계되었으며, 수많은 통합 기능 (Integrated Features) 과 고급 프로세스 제어 도구를 갖추고 있습니다. 직관적인 제어를 위해 편리한 사용자 친화적 연산자 인터페이스를 갖추고 있습니다. 이 툴에는 최첨단 안정성과 견고한 Quattro 시리즈 소프트웨어 및 프로세스 제어 모듈이 탑재되어 있습니다. 유연성 측면에서 FPA-3000EX6 은 쉽게 구성하고 업그레이드할 수 있습니다. 다양한 노출을 통해 광범위한 OPc, 오버레이 (Overlay), 피치 (Pitch) 및 정렬 (Alignment) 제어를 제공하며 광범위한 작업 단계, 척 및 기판 정렬 옵션, 필드 크기 및 위치 정확도에서도 유연성을 제공합니다. 자산은 오염을 최소화하기 위해 클린 룸에서 실행되도록 설계되었습니다. 이 모델은 10,000 등급으로 환기되며 비활성 가스 공급 (inert gas supply) 에 연결할 수 있습니다. 고급 냉각 장비 (Advanced Cooling Equipment) 는 혹독한 환경에서 작동하면서 운영 온도가 정확하고 안정적으로 보장됩니다. CANON FPA 3000 EX6은 완벽한 프로세스 성능, 유연성 및 사용자 친화적 운영을 제공합니다. 고급 반도체 및 나노 기술 제조업체에게는 완벽한 선택입니다.