판매용 중고 CANON FPA 3000 EX5 #9114042

CANON FPA 3000 EX5는 반도체 장치 제작에 사용되는 고급 고성능 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 웨이퍼 스테퍼는 실리콘 웨이퍼 (silicon wafer) 와 반도체 박막 (thin film) 과 같은 기판에 매우 정확한 패턴과 구조를 만들도록 특별히 설계되었습니다. 이 장비는 5nm (초고해상도) 의 초고해상도 (초고해상도) 를 갖추고 있으며, 상세한 패턴과 구조물을 생산해야 하는 연구자와 과학자들에게 탁월한 선택입니다. CANON FPA-3000EX5에는 고급 옵틱, 특히 고성능 몰입 대상 렌즈 및 하이 NA 제어 시스템이 장착되어 있어 빔을 정확하게 집중하고 패턴 정확성을 보장할 수 있습니다. 광학 이외에도이 장치는 6.2 메가 픽셀 해상도의 고급 CCD (High-sensitivity charge-coupled device) 카메라를 통합합니다. 이것은 연구원들에게 매우 높은 정확도로 작은 기능을 측정하기위한 강력한 도구를 제공합니다. 최대 3 개의 개별 노출 헤드 (Exposure Head) 를 사용하여 시스템을 구성할 수 있으며, 단일 설정에서 여러 웨이퍼를 정확하게 정렬할 수 있습니다. 이를 통해 한 단계로 여러 기판을 이미징/패턴화할 수 있으며, 이를 통해 처리량 및 비용 효율성을 대폭 향상시킬 수 있습니다. FPA 3000 EX5 는 다양한 검색 방법을 사용하여 각 패턴을 정확하게 복제합니다. 다양한 스캔 속도 (scan speed) 를 통해, 연구자들은 자신의 시간을 최대한 활용하고 있는지 확인할 수 있습니다. 스캐닝 속도는 100mm/s 이상에 도달하여 연구원이 생산성을 높일 수 있습니다. 에셋은 또한 비 가우시안 (Non-Gaussian) 과 가우시안 (Gaussian) 패턴을 선택하여 특정 응용 프로그램에 가장 적합한 방법을 선택할 수 있습니다. 또한 FPA-3000EX5 는 다양한 인터페이스를 통해 사용자가 원격으로 데이터를 입력, 제어할 수 있게 해 줍니다. 이를 통해 고객은 장비 (Equipment) 를 빠르고 쉽게 프로그래밍하여 요구 사항을 충족시켜 고급 산업용 어플리케이션을 위한 귀중한 자원이 됩니다. 마지막으로, 시스템은 장기적인 안정성과 반복 가능한 정확성 (repeatable accuracy) 을 위해 설계되어, 가장 작은 세부 사항조차도 일관되게 생산됩니다. 이러한 기능은 CANON FPA 3000 EX5를 안정적이고 비용 효율적인 고급 웨이퍼 스테퍼로 확고하게 설정했습니다.