판매용 중고 CANON FPA 3000 EX4 #9359426

CANON FPA 3000 EX4는 정밀 리소그래피를 위해 설계된 고급 웨이퍼 스테퍼입니다. 서브 마이크로 미터 (sub micrometer) 정확성으로 인해 웨이퍼에 매우 작은 피쳐 크기를 생성 할 수 있습니다. 고급 4 챔버 옵티컬 요소와 여러 정렬기 (aligner) 및 도량형 장치 (metrology device) 가 장착되어 있어 빠른 정렬 및 미세 작동이 가능합니다. 이 장치는 또한 장기적인 안정된 작동을 가능하게 하는 고속 멀티 축 장비와 통합됩니다. 이 장치의 본체는 장기 사용 및 최대 신뢰성을 위해 알루미늄 (aluminum), 강화 플라스틱 (Reinforced Plastic) 과 같은 내구성 있는 재료로 만들어졌습니다. 대형 LCD 터치 스크린을 사용하면 장치를 쉽게 모니터링하고 제어할 수 있습니다. 이 "웨이퍼 '스테퍼 는 여러 개 의" 웨이퍼' 를 자동 처리 할 수 있는 "로봇 '장치 를 갖추고 있다. CANON FPA-3000EX4에는 온보드 냉각 장치가 장착되어 있어 열선 칩으로부터 민감한 광 요소를 보호할 수 있습니다. 이 냉각기에는 열 흡수 팬 유닛, 열전 셔터 및 라디에이터 세트가 포함됩니다. 또한 "렌즈 '의 표면 각도 의 변화 를 탐지 하고 측정 할 수 있는" 레이저' 간섭 도구 가 특징 이다. 이를 통해 리소그래피 프로세스의 정확성을 보장하여 더 나은 정렬 및 이미지를 얻을 수 있습니다. 스테퍼는 하나의 웨이퍼 노출 주기에서 여러 처리 단계를 수행 할 수 있습니다. 여기에는 저항, 노출, 웨이퍼 경화 및 노출 된 패턴 벗기기 적용이 포함됩니다. 또한 빔 스캔 동기화 제어 (Beam Scan Synchronization Control) 및 선택 가능한 노출 시간 설정 (Exposure Time Settings) 을 통해 패턴화 프로세스를 더욱 최적화할 수 있습니다. FPA-3000 EX4는 작은 기판에서 박막, 고급 패턴, 고해상도 패턴 등 고급 지역 구조에 대한 미세한 구성 요소를 생성 할 수 있습니다. 또한, 이 웨이퍼 스테퍼는 리서치 및 디바이스 운영 관련 애플리케이션에 동적 성능, 높은 처리량, 높은 정확도, 비용 절감 효과를 제공합니다.