판매용 중고 CANON FPA 3000 EX4 #136890

ID: 136890
웨이퍼 크기: 8"
248nm stepper, 8" Currently shutdown with power off.
CANON FPA 3000 EX4는 다양한 photomask 및 기판을 정확하고 정확하게 정렬 할 수있는 FFPA (full-field projection aligner) 입니다. 이 웨이퍼 스테퍼는 고정밀 포토 마스크 및 기판 제작 프로세스에 필수적인 도구입니다. 이 장비에는 인상적인 기능이 있어 포토 마스크, 웨이퍼, 옵티컬/MEMS (Optical/MEMS) 제작의 다양한 어플리케이션에 유용한 도구입니다. CANON FPA-3000EX4의 주요 장점은 포토 마스크 및 기판을 나노 미터 정확도에 정확하게 정렬 할 수있는 기능입니다. 2 차원, 비 접촉 이미지 감지 시스템이 장착되어 있어 포토 마스크 및 기판의 균일 한 조명과 정확하고 정확한 정렬을 보장합니다. 이 정확한 정렬을 통해 회로 패턴, 선, 모서리와 같은 피쳐를 정확하게 정렬할 수 있습니다. FPA-3000 EX4 는 높은 수준의 정확성, 반복성 및 처리량을 제공합니다. 이 장치는 웨이퍼 (wafer) 수준의 최첨단 이미징 기술을 사용하여 정렬 프로세스의 정확성과 안정성을 높입니다. 이 기계는 또한 노출 조건, 설정, 샘플 크기의 변화에 대한 정확한 보상으로 매우 높은 해상도의 정렬 정확도를 제공합니다. 또한 FPA-3000EX4 는 정렬하는 동안 포토 마스크 및 기판을 정확하게 배치할 수 있는 완전 자동 동작 제어 툴을 제공합니다. 동작 제어 (Advanced Motion Control) 에셋은 이동 속도와 방향을 정확하게 제어하여 정밀도가 높은 정렬을 보장합니다. 자동 (automated) 모델은 또한 정확한 정렬 보상을 제공하도록 구성되어 프로세스 정확도를 높일 수 있습니다. 또한 CANON FPA-3000 EX4 에는 다양한 전원 및 디코더 제어 옵션이 제공되며, 이를 통해 사용자는 노출 설정과 매개변수를 사용자 정의할 수 있습니다. 또한 다양한 GUI (Graphical User Interface) 를 갖춘 사용자 친화적인 소프트웨어와 함께 운영 및 제어가 용이합니다. 이 시스템은 또한 다양한 기능을 제공하여 고급 포토 마스크 (photomask) 와 기판 제작에 이상적인 도구입니다. 이 장치에는 다양한 노출 응용 프로그램을위한 와퍼 (wafer) 의 정확하고 통제 된 노출을 제공하는 통합 노출 머신 (exposure machine) 이 있습니다. 이 툴은 또한 자동 데이터 계산 및 저장 기능을 제공하여 보다 효율적인 구성 프로세스를 제공합니다. 이 에셋에는 다양한 액세서리 (옵션) 가 있는데, 이 액세서리를 사용하면 모델을 정확한 요구에 맞게 사용자 정의할 수 있습니다. 옵션에는 모니터 시스템 (Monitor System), 정밀 패턴 튜닝 하드웨어 (Precision Pattern Tuning Hardware), 자동 클리닝 하드웨어 (Automatic Cleaning Hardware) 등의 액세서리가 포함되어 있으므로 사용자가 정확한 요구 사항에 맞게 장비를 만들 수 있습니다. FPA 3000 EX4는 고정밀 포토 마스크 및 기판을 제작하기위한 강력하고 다양한 도구입니다. 다양한 포토마스크, 웨이퍼, 광학/MEMS (Optical/MEMS) 제작 프로세스에 유용한 툴이 될 수 있습니다.
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