판매용 중고 CANON FPA 3000 EX3 #293817789

CANON FPA 3000 EX3은 웨이퍼 스테퍼로, 반도체 웨이퍼 내에서 마이크로 서킷을 제작하는 데 사용됩니다. 0.1 m 이하의 해상도의 실리콘 웨이퍼 (silicon wafer) 표면에 작은 구조를 생성 할 수있는 고성능 정렬 장비입니다. 반도체 산업을 위해 특별히 설계되었으며, 장치 기능과 제조 계층 (fabrication layer) 을 정확하게 정렬합니다. FPA 3000 EX3는 디바이스 기능 정렬 및 패턴화에 다양한 기술을 사용합니다. 자동 교정 시스템이 있으며, 이 시스템은 서브 미크론 정확성과 높은 정밀도를 가능하게합니다. Nano-Finder III 자동 정렬 장치를 사용하면 기존 정렬 시스템과 비교하여 50X 및 200X 장점을 제공합니다. 이 기계는 낮은 Vignetting 광 도구를 사용하여 정렬 정확성을 보장합니다. CANON FPA 3000 EX3에는 웨이퍼 로드 및 언로드를 위한 고정밀 스테이지가 장착되어 있습니다. 여기에는 6 축의 마이크로 와퍼 동작 제어가 있으며, XY 평면을 따라 2 축에서 스캔 및 노출 기능이 가능하며, 장치 기능 정렬을위한 4 축 웨이퍼 정렬 에셋이 있습니다. 이 모델에는 또한 레이저 감지 및 TOF (Time-of-flight) 기술을 사용하는 고속 기능 인식 장비가 포함되어 있습니다. 이 기술을 통해 장치 크기 및 위치 정확도를 서브 미크론 (sub-micron) 수준까지 결정할 수 있습니다. FPA 3000 EX3는 최대한의 기술 유연성을 제공하여 i-line, ArF 또는 KrF 스테퍼 소스를 사용하는 photolithography에서 binary 또는 quincunx와 같은 고급 패턴 처리 프로세스까지 다양한 프로세스를 사용할 수 있습니다. 이를 통해 마스크 정렬기, 노출 시스템 및 DUV (Deep-자외선) 스테퍼와 같은 광범위한 반도체 응용 프로그램이 가능합니다. 또한 CANON FPA 3000 EX3는 고급 서보 제어 (servo control) 및 모터 드라이브 (motor drive) 기술을 통해 정확성 또는 속도 손실 없이 고정밀 양방향 모션 제어를 제공합니다. 이 시스템에는 웨이퍼 동작 및 실시간 패턴 동작 및 이미지 획득을위한 온보드 고급 서보 (on-board advanced servo) 장치가 포함되어 있습니다. 이렇게 하면 빠르고 정확한 웨이퍼 위치와 패턴 인식이 보장됩니다. 또한 FPA 3000 EX3는 그래픽 사용자 인터페이스를 통해 직관적인 작업 및 실시간 진단 (Real-Time Diagnostics) 과 같은 많은 사용자 친화적 기능을 제공합니다. 이 기계는 자동 웨이퍼 (wafer) 와 모서리 감지 기능을 통해 간단한 웨이퍼 로드/언로드 프로세스를 허용합니다. 또한 예방적 유지 관리 모드를 통해 반복 가능하고 안정적인 운영을 보장합니다. 또한 다른 제조 공정에 쉽게 통합되도록 설계되었습니다. 전반적으로, CANON FPA 3000 EX3는 강력하고 정확한 웨이퍼 스테퍼 툴로서, 높은 처리량을 통해 뛰어난 정렬 및 패턴화 정확성을 제공합니다. 유연성, 간편한 설치 및 유지 관리를 위해 설계되었으며, 하이엔드 반도체 (Semiconductor) 제작 및 기타 고급 장치 기능 및 웨이퍼 (Wafer) 정렬 어플리케이션에 적합합니다.