판매용 중고 CANON FPA 2500 i3 #9394903

CANON FPA 2500 i3은 고급 웨이퍼 스테퍼로, 0.10hm에서 2.00m까지 다양한 선택 가능한 해상도를 제공합니다. 고품질 사망 (high-quality die) 을 생산할 수 있도록 높은 패턴화 정확성과 반복성을 제공하도록 설계되었습니다. CANON FPA-2500I3 은 고속 X-Y 스테이지와 통합 웨이퍼 매핑 서보를 갖춘 200mm 웨이퍼 스테이지 (wafer stage) 를 갖추고 있으므로 원하는 위치에서 웨이퍼를 신속하게 정렬하고 배치할 수 있습니다. 근접 스캔 장비와 결합된 고급 광학 플랫 척 (Advanced Optically Flat Chuck) 은 정렬 및 위치 지정의 정확성을 보장합니다. 또한 고무 로 만든 "웨이퍼 '배달 장치 를 갖추고 있어서" 웨이퍼' 를 빠르고 정확 하게 적재, 운반 및 언로드 한다. FPA-2500 I3은 최대 조명력 350mUV 및 최대 필드 크기 18 x 18mm를 제공합니다. 또한 뛰어난 경량 처리량과 향상된 패턴화 성능을 위해 635nm 레이저 빔 (laser beam) 장치를 장착했습니다. 고출력 레이저 빔을 사용하면 품질과 정확도를 높일 수 있고, 전체 노출 시간 (total exposure time) 을 줄일 수 있습니다. 광학 정렬 측면에서, FPA 2500 i3은 정밀 공준기 및 스캔 렌즈와 광학 수차 교정 시스템을 특징으로합니다. 또한 이중 굴절 렌즈 머신 (double refractive lens machine) 을 자랑하여 수차를 줄이고 전반적인 광학 성능을 향상시킵니다. 마지막으로, CANON FPA-2500 I3 는 비용 효율적이고 고품질 다이 생산에 필요한 엄격한 실제 성능 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 셔터 프리 (shutter-free), 연속 반복 노출에 최적화되어 있으며, 웨이퍼 난방 및 냉각 시스템의 통합은 일관된 다이 프로파일 (die profile) 과 처리량의 균일성을 보장합니다. FPA-2500I3 은 안정적이고 고급 웨이퍼 스테퍼로, 고품질 다이를 지속적으로 생성하는 데 사용할 수 있습니다. 정밀 정렬 및 광학적으로 평평한 척 (chuck) 은 강력한 레이저 빔 도구와 결합하여 정확성과 향상된 웨이퍼 처리량을 보장합니다. 또한, 셔터 프리 (shutter-free) 연속 노출 및 온도 조절 시스템을 추가하여 다이 프로파일의 균일성과 일관성을 보장하여 효율성과 비용 효율성을 높입니다.