판매용 중고 CANON FPA 2500 i3 #9229104

CANON FPA 2500 i3은 마이크로 분류 프로세스에 사용되는 높은 정확도의 웨이퍼 스테퍼입니다. 전통적인 주사 기반 전자빔 시스템보다 작고, 빠르게 이미지화할 수있는 스테퍼입니다. CANON FPA-2500I3은 200 나노 미터의 정밀 정렬로 사전 정렬 된 노출이 가능합니다. 이 장비는 0.48 NA 조명 시스템과 151mm 길이의 작업 거리를 갖추고 있습니다. 전체 시야는 100mm이며 전체 형식은 2576mm 사각형입니다. FPA-2500 I3은 반 활성 정렬 기능으로 35mm 스루 렌즈 해상도를 달성 할 수 있습니다. 스테퍼 자체는 완전 자동 정렬 장치가 장착 된 멀티 필드 웨이퍼 스테퍼입니다. "스테퍼 '는 조명기 와 광학 기계 의 조합 을 사용 하여 전체 분야 에 걸쳐 극히 정확 한" 정렬' 을 하도록 설계 되었다. NAI (정상 영역 조명) 와 EI (확장 영역 조명) 의 두 가지 굴절 이미징 모드가 있습니다. NAI 모드는 현장 해상도에 사용되며 EI 모드는 해상도에서 높은 명암을 달성하기 위해 사용됩니다. CANON FPA 2500 I 3 스테퍼는 대규모 환경 챔버뿐만 아니라 고급 자동화 도구를 갖추고 있습니다. 이 로 말미암아, 수술 기간 이 긴 후 에도, 체중 이 완전 히 안정 될 수 있다. 자동화 자산 (automation asset) 은 정확성과 반복성을 허용하며, 이를 통해 스테퍼는 여러 스탬프에서 정확성을 유지할 수 있습니다. FPA 2500 i3 은 광범위한 노출 시간을 가지며, 이를 통해 광범위한 프로세스를 제어할 수 있습니다. 또한 다중 레벨 노출, 동시 노출 및 단계별 노출과 같은 다양한 스캐닝 모드를 제공합니다. 이를 통해 다양한 기판 재료와 호환됩니다. 이미징 정확도 측면에서 FPA-2500I3는 60 나노 미터 기능 등록 정확도를 가질 수 있습니다. 이미지 정확도를 더욱 유지하기 위해 스테퍼에는 2 미크론 규칙 (2 미크론 규칙) 과 영역 기반 자동 초점 보정 (autofocus correction) 이 장착되어 있습니다. 이를 통해 노출 정확도와 정렬 정확도의 안정성이 향상됩니다. 스테퍼에는 높은 노출 모니터 모델도 장착되어 있습니다. 이 장비를 사용하면 노출 시간 (Exposure Time) 데이터를 측정 및 모니터링하고 프로세스 와인홀을 사용할 수 있습니다. 이 모니터링 시스템은 또한 사용자 정의 가능하고 확장 가능한 열 제어를 허용합니다. 이렇게 하면 작업 실행을 보다 효과적으로 제어할 수 있습니다. 전반적으로 FPA 2500 I 3은 매우 정확한 마이크로 세공 프로세스를 위해 설계된 고급 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 제품은 광범위한 자동화 기능을 갖추고 있으며, 매우 정확한 이미지 처리 기능을 제공합니다. 이 제품은 확장성과 프로세스 제어 (process control) 뿐만 아니라 정확한 이미징을 보장하는 기능을 갖추고 있습니다.