판매용 중고 CANON FPA 2500 i3 #9173300
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CANON FPA 2500 i3 Wafer Stepper는 최첨단 프로세서 및 마이크로 일렉트로닉스를 포함한 반도체 칩 제조에 사용되는 차세대 생산 등급 리소그래피 머신입니다. 이 최첨단 장비는 더 작은 설치 공간을 자랑하면서 최고의 성능을 제공할 수 있습니다 (영문). 이 "머신 '은 개량 된" 웨이퍼' 처리량 을 위한 높은 처리량 을 달성 하는 데 도움 이 되는 독특 한 "스테퍼 '설계 를 갖추었기 때문 에" 칩' 제조업체 들 에게 이상적 인 도구 가 되었다. CANON FPA-2500I3 Wafer Stepper는 여러 기능을 갖춘 통합 제어 장치입니다. 이 장비는 노출 시간, 웨이퍼 운송 및 공기 역학적 기능을 제어 할 수 있습니다. 이렇게 하면 리소그래피 (lithography) 프로세스의 모든 단계에서 기계가 최적으로 작동하도록 할 수 있습니다. 또한, 정밀 광학 열로 인해 시스템이 매우 정확하고 반복 가능합니다. 이를 통해 기계는 광학 및 패턴을 웨이퍼 (wafer) 에 정확하게 정렬하여 깨끗하고 정의된 패턴을 활성화할 수 있습니다. 기계 의 광학 은 또한 질 이 뛰어나며 "렌즈 '" 필터' 와 "코우팅 '도 포함 된다. "렌즈 '" 필터' 는 "패턴 '상 에 영향 을 줄 수 있는 안개 나 다른 결함 을 제거 하여 선명도 와 세부점 을 향상 시킨다. "코우팅 '은 또한" 칩' 의 구조 에 영향 을 줄 수 있는 먼지, 물, 기타 오염 물질 에 대하여 각기 다른 수준 의 보호 를 해 줄 수 있다. 이 스텝퍼 (stepper) 는 업계의 엄격한 요구 사항과 생산 요구를 충족하도록 설계되었으며, 이는 칩/프로세서 제조를 위한 신뢰할 수 있는 솔루션입니다. 또한 FPA-2500 I3 Wafer Stepper 에는 Wafer 가 손상되거나 긁히지 않도록 모니터링하고 보호하는 데 사용되는 Automatic Wafer Loader 와 같은 고급 기능도 포함되어 있습니다. 다른 기능으로는 정교한 진공 장치 (vacuum unit) 와 프로세스를 실시간으로 추적하는 품질 제어 제품군 (quality control suite) 이 있습니다. 전반적으로 FPA 2500 i3 Wafer Stepper는 고급 광학 시스템, 기능 세트 및 견고한 구조로 인해 칩 제조업체에 이상적인 선택입니다. 정확하고 반복 가능한 리소그래피 (lithography) 를 제공함으로써, 기계는 비즈니스가 적은 결함 칩을 제공하면서 주기 시간을 줄이는 데 도움이됩니다. 이러한 신뢰성과 효율성은 모든 반도체 칩 제조 시설에서 CANON FPA 2500 I 3 Wafer Stepper를 중요한 도구로 만듭니다.
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