판매용 중고 CANON FPA 2500 i3 #9164887

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ID: 9164887
웨이퍼 크기: 4"
Stepper, 4" Reticle, 5".
CANON FPA 2500 i3은 반도체 장치 제조에 사용되는 고급 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 장비는 예술 저항 처리 및 이미징 기술의 상태를 활용하여 다중 계층 FZP (Fresnel Zone Plate) 및 어레이 회로에 대한 정밀 정렬 및 리소그래피를 제공합니다. 초미세 이미지 (Ultra-Fine) 기능 외에도 빠른 데이터 처리량, 높은 처리량, 높은 정확도, 낮은 네이티브 소비량을 제공합니다. CANON FPA-2500I3은 풀 사이즈 8 인치 웨이퍼 로딩 용량을 사용하며, 향상된 해상도와 명암비를 위해 향상된 옵티컬 장치를 제공합니다. 이 기계는 웨이퍼를 정확하게 정렬하기 위해 정확도가 높은 고정밀 XY 단계를 특징으로합니다. 또한, 온보드 동작 안정화 도구는 진동을 제거하고 노출 중 이미지 품질을 향상시킵니다. FPA-2500 I3 은 기존 다중 계층 FZP 및 고급 어레이 회로와 모두 호환됩니다. 고급 광학 및 석판화 기술 (lithography technology) 이 특징이며 작은 기하학에서 고해상도 인쇄를 제공합니다. 이 자산은 또한 초고속 디바이스 제작을 위한 빠른 처리 속도와 고속 노출을 제공합니다. 온보드 저항 기술은 높은 명암비, 저온 및 빠른 건조 프로세스를 제공합니다. 내장 석판 광학 및 석판 파동 기술은 집적 어레이 회로에 대한 광학을 최적화하여 정밀 이미징 (precision imaging) 과 향상된 정확도 및 처리량을 제공합니다. 이 모델은 또한 장치 및 석판 정렬 (lithographic alignment) 을 모두 측정하기 위해 다양한 도량형 도구를 제공합니다. 이 장비는 또한 포괄적인 소프트웨어 툴과 통합되어 오프라인 (off-line) 데이터 분석 및 지원을 제공합니다. CANON FPA 2500 I 3은 높은 정밀도, 높은 처리량 및 최고 품질의 웨이퍼 스테퍼 솔루션을 위한 완벽한 선택입니다. 고급 옵틱 (optic), 리소그래피 기술 (lithography technology) 및 저항 프로세싱 (resist processing) 을 사용하는 이 시스템은 업계 최고의 성능을 제공하며 다양한 반도체 장치의 정확한 이미징 및 리소그래피를 제공합니다.
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