판매용 중고 CANON FPA 2500 i3 #293817809

CANON FPA 2500 i3 웨이퍼 스테퍼는 리소그래피 기술의 주요 도약입니다. 전자산업에서 고도로 복잡한 집적회로 (integrated circuit) 의 생산에 활용되도록 설계됐다. 최첨단 IC를 개발할 수 있는 다양한 새로운 가능성을 열어줍니다 (영문). CANON FPA-2500I3은 5 미크론 스팟 크기를 가지며 25 nm 오버레이 정확도로 약 0.15 미크론 라인 너비를 달성 할 수 있습니다. 게다가, 긴 초점 시간 없이 저용량 (low dose) 과 고해상도 (high resolution) 로 다중 노출 용량을 분배 할 수 있습니다. 이것은 차세대 중전압 및 고전압 IC에 적합합니다. FPA-2500 I3는 157 nm 파장으로 작동하며 0.18 nm ~ 65 nm 기술과 같은 응용 분야에 매우 적합합니다. 이 도구는 높은 수준의 패턴 균일성을 제공하며, 최대 0.30 미크론의 정렬 오류를 보상 할 수 있습니다. 이 로 말미암아 많은 수 의 노출 을 요구 하지 않고도 매우 정확 한 "패턴 '을 만들 수 있다. 스테퍼에는 빠른 웨이퍼 정렬, 자동 초점 조정, 웨이퍼 레벨 데이터 수집 (wafer-level data collection) 을 수행할 수 있는 웨이퍼 레벨 컨트롤러도 장착되어 있습니다. 한 번에 여러 웨이퍼 (wafer) 를 관리할 수 있는 기능이 있으며, 최신 소프트웨어 (software) 와 알고리즘 (algorithm) 을 통해 최고 수준의 정확도와 정밀도를 얻을 수 있습니다. 생산성 측면에서 FPA 2500 I 3은 시장에서 가장 빠른 웨이퍼 스테퍼 중 하나입니다. 최대 120mm/sec의 스캔 속도를 가지며, 경량 플랫폼으로 시간당 최대 150 개의 웨이퍼 스캔을 쉽게 수행 할 수 있습니다. 고출력 제조 시설에 적합합니다. 또한 FPA-2500I3 의 에너지 소비량도 낮으며, 에너지 절약 (energy-saving) 기능을 통해 최적의 성능을 갖추면서도 툴의 전력 소비량을 최소화할 수 있습니다. 따라서 장기적으로 기계의 운영 비용을 줄일 수 있습니다. 전반적으로, FPA 2500 i3은 차세대 IC 제작을 위해 탁월한 정밀성과 생산성을 제공하는 고급 웨이퍼 스테퍼입니다. 고급 기능을 사용하면 운영 비용을 최소화하고, 일관되고 정확한 결과를 얻을 수 있습니다.