판매용 중고 CANON FPA 2500 i3 #293809116
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CANON FPA 2500 i3 웨이퍼 스테퍼는 0.25 미크론 공정 노드에서 소형 반도체 장치 및 부품 생산에 사용되는 고성능, 고해상도 석판 기계입니다. 아이라인 광학 (i-line optic) 을 사용하여 고정밀도, 정확도로 기판 표면에 패턴을 생성하는 고급, 대형 시야 스테퍼 (field of view stepper) 가 특징입니다. CANON FPA-2500I3에는 9,500 스테퍼 픽셀과 필요에 따라 NA (숫자 조리개) 를 개선하는 활성 정렬 기능이 있습니다. 이를 통해 웨이퍼 (wafer) 에서 웨이퍼 (wafer), 로트 (lot) 까지 정확하고 반복 가능한 패턴 배치 및 오버레이가 가능합니다. 1:1 프로젝션 렌즈가 장착되어 있어 아트워크 없이 균등하게 분산 된 패턴을 생성 할 수 있습니다 (영문). 또한 i3 스테퍼는 10 배의 스테이지를 통합하여 대형 웨이퍼에 이상적입니다. FPA-2500 I3 웨이퍼 스테퍼는 4 인치에서 12 인치까지 다양한 기판을 처리하도록 설계되었습니다. 첨단 이미징 (Advanced Imaging) 장비를 장착하여 다양한 노출에 대한 최적의 해상도를 제공합니다. 또한, 스테퍼에는 노출 전에 기판의 통합 베이킹 및 디가싱을 제공하기 위해 Air Brush Module이 포함되어 있습니다. FPA-2500 I 3 은 시간당 최대 500 개의 웨이퍼로 작동하며, 처리량은 시간당 최대 75 개의 웨이퍼입니다. FPA 2500 I 3 웨이퍼 스테퍼 (Wafer Stepper) 에는 노출 환경에 균일성을 추가하고 높은 정확도와 처리량을 보장하는 다중 영역 온도 제어 시스템이 있습니다. 또한, 스테퍼에는 기질의 열 왜곡을 줄이는 낮은 왜곡, 방진 장치가 포함됩니다. 또한 정전기를 줄이기 위해 액티브 클린 (Active Clean) 기계가 포함되어 있으므로 패턴화 중 균일성과 정확성을 보장합니다. CANON FPA-2500 I3 Wafer Stepper에는 효율적이고 직관적인 작동을 위한 사용자 친화적 운영 도구가 장착되어 있습니다. 또한, 이 자산에는 새로운 기판 테스트 및 검증에 소요되는 시간과 비용을 절감하는 데 도움이 되는 전문 소프트웨어 (specialized software suite) 가 제공됩니다. CANON FPA-2500 I 3 전원 공급 장치는 안정적이고 일관된 작동에 최적화되어 설정 프로세스의 복잡성을 줄여줍니다. 이 스테퍼는 내장형 부식 방지 메커니즘과 먼지 증명 설계 (dust proof design) 를 통해 신뢰성을 높이고 유지 관리 비용을 절감합니다.
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