판매용 중고 CANON FPA 2500 i3 #293762557
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CANON FPA 2500 i3은 집적 회로 리소그래피에 적용하기 위해 대구경 포토 마스크 패턴을 작성하도록 설계된 최첨단 웨이퍼 스테퍼입니다. 업계 최고의 마스크 크기 (최대 1500mm) 와 뛰어난 라인 너비 해상도 (0.75 äm) 를 자랑하는 CANON FPA-2500I3는 탁월한 이미징 정확도와 높은 처리량을 제공합니다. FPA-2500 I3은 고급 이미징 및 조명 시스템을 사용합니다. 핀 홀 (pin-hole) 어레이를 포함하는 2 단계 일관성 조명 장비는 이미징 필드의 뛰어난 균일성을 보장하며 라인 스톱 (line stop) 및 렌즈 수차 (lens aberration) 와 같은 요소를 방해하는 영향을 제거합니다. 이 시스템은 최대 정확도를 위해 마스크 기판 (mask 기판) 과 관련하여 조명 필드의 위치를 정확하게 제어하기 위해 높은 정확도 헥사 포드 (hexapod) 를 사용합니다. CANON FPA-2500 I 3은 또한 사용 가능한 정확도가 가장 높은 정밀 스테이지 제어를 특징으로합니다. 고급 사전 보상 메커니즘을 갖춘 모 놀리 식 (monolithic) 초소형 1 피스 기계적 구조를 사용하여 고정밀 위치 반복성 및 종 방향 정확성을 달성하여 단위 수차를 최소한으로 줄입니다. 이를 통해 FPA 2500 i3은 뛰어난 인쇄 정확도를 보장할 수 있습니다. 또한 FPA-2500I3 은 강력한 유지 보수/운영 기능을 제공하여 일상적인 작업을 더욱 쉽고 효율적으로 수행할 수 있습니다. 고급 포커스 모니터 머신 (Advanced Focus Monitor Machine) 은 광학 센서와 분석 알고리즘을 사용하여 포커스 깊이, 명암비, 선 너비와 같은 카메라 매개변수를 정확하게 추적하고 모니터링하므로 이미징 및 패턴 처리 과정이 빠르고 정확하게 수행됩니다. 전반적으로, FPA 2500 I 3은 집적 회로 리소그래피에 사용되는 대구경 포토 마스크를 빠르고 정확하게 패턴화하도록 설계된 강력하고 정확한 웨이퍼 스테퍼입니다. 원피스 모놀리식 구성, 고급 조명, 이미징 및 스테이지 제어 시스템, 모니터링 기능으로 인해 디지털 반도체 제작 실험실에서 필수 도구가되었습니다.
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