판매용 중고 CANON FPA 2500 i3 #293749144
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ID: 293749144
Stepper
Accuracy: 0.4 µm
Auto focus repeatability: 3 Sigma ≤ 0.12µm
Die by die levelling repeatability: 3 Sigma ≤ 10ppm
Mechanical alignment accuracy: 3 Sigma ≤ 40µm
Lens performance:
Resolution: ≤ 0.40µm
Depth of focus: ≥ 0.8µm
Image field deviation: R ≤ 0.55µm
Distortion (including mag.): ≤ 0.07µm
Illumination:
Intensity (1.5 kW input): ≥ 550 mW/cm²
Uniformity: ≤ 1.2%
Light integrator accuracy: ≤ +1.2%
Masking blade accuracy: ≤ +100µm
Alignment:
Reticle rotation accuracy: ≤ +0.02µm
Reticle rotation repeatability: R ≤ +0.03µm
AGA HeNe TV Alignment: lml+3sigma ≤ 0.10µm
AGA B2 TV Alignment: lml+3sigma ≤ 0.10µm
XY Stage:
Stepping accuracy: 3 Sigma ≤ 0.06µm
Scaling: ≤ +1.0 ppm
Orthogonality: ≤ +1.0 ppm
Throughput:
Left inline:
Levelling off:
6" (45s) ≥ 62/hr
8" (78s) ≥ 44/hr
Levelling on:
6" (45s) ≥ 57/hr
8" (78s) ≥ 40/hr
Right inline:
Levelling off:
6" (45s) ≥ 61/hr
8" (78s) ≥ 44/hr
Levelling on:
6" (45s) ≥ 56/hr
8" (78s) ≥ 40/hr
Reliability: Reticle running and wafer running.
CANON FPA 2500 i3은 고정밀 리소그래피를 위해 설계된 웨이퍼 스테퍼입니다. 고해상도 투영 장비를 사용하여 회로 패턴을 웨이퍼로 정확하고 신속하게 전송합니다. 시스템은 다양한 해상도의 노출 (exposure) 과 최소 시간과 에너지 (energy) 를 전환할 수 있습니다. 고정밀 투영 렌즈는 Deep-UV 리소그래피 및 step-and-repeat lithography를 포함한 다양한 중요한 이미징 기술에 이상적입니다. 이 장치는 8 인치, 12 인치 및 대형 기판과 같은 여러 유형의 미디어를 처리 할 수 있습니다. CANON FPA-2500I3 스테퍼는 강력한 2 축 스캐닝 머신을 사용하여 프로젝션 렌즈를 최대한 활용합니다. 또한, 높은 안정성 프레임과 진동을 줄이고 정확도를 향상시키는 전용 진동 댐핑 (damping) 도구를 갖추고 있습니다. 자산의 하이엔드 서보 및 모션 컨트롤은 매우 정확하고 반복 가능한 성능을 제공합니다. 이 모델은 폐쇄 루프 (closed-loop) 전자 제어 장비를 사용하여 실제 이미징 정확도가 가장 높습니다. 특수 정렬 및 분산 제거 기술도 정밀도를 높이는 데 도움이됩니다. FPA-2500 I3 은 고급 로봇 인터페이스를 사용하며 인라인 (inline) 어셈블리와 경사 (slanted) 어셈블리를 모두 지원할 수 있습니다. 시력 정렬 센서와 비접촉 측정 시스템의 조합을 사용합니다. 이렇게 하면 노출 전에 웨이퍼를 올바르게 배치할 수 있으며, 잘못된 정렬을 방지할 수 있습니다. CANON FPA-2500 I 3은 이미징 기능 외에도 고급 안전 및 환경 기능도 갖추고 있습니다. 첨단 공랭식 회로 설계는 냉각 효율을 극대화하므로, 사용자는 과열 (overheating) 에 대해 걱정할 필요가 없습니다. 시스템의 소프트웨어는 네트워크 연결을 통해 원격으로 업데이트할 수 있습니다. 마지막으로 FPA-2500 I 3은 신뢰성이 높으며 표준 1년 보증이 제공됩니다. 서비스 계약 확대 (Extended Service Contract) 를 통해 오랜 기간 동안 신뢰할 수 있는 성능을 필요로 하는 사용자에게 이상적인 선택이 됩니다. 최고의 기능과 고정밀 이미징 기능으로, CANON FPA 2500 I 3은 시장에서 최고의 웨이퍼 스테퍼 중 하나입니다.
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