판매용 중고 CANON FPA 2500 i3 #293646546
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CANON FPA 2500 i3 Wafer Stepper는 반도체 웨이퍼의 정밀 기능을 패턴화하도록 설계된 고급 석판화 도구입니다. 고해상도 이미징과 단단한 기하학적 정확성을 달성하기 위한 정교한 광학 장치 (optic and precision scanning stage) 를 갖추고 있습니다. CANON FPA-2500I3은 248 nm 크립톤 플루오 라이드 엑시머 레이저 (KrF) 소스를 사용하여 고성능 광학을 통해 원하는 기판 영역으로 이동 할 수있는 가벼운 빔을 생성합니다. 스테퍼는 0.30에서 0.50 사이의 다양한 숫자 조리개 (NA) 기능을 제공하여 다양한 패턴 응용 프로그램으로 하위 미크론 해상도 이미징을 사용할 수 있습니다. FPA-2500 I3 는 처리량과 정확도를 극대화하는 이중 레인 전송 시스템을 갖추고 있습니다. 고급 웨이퍼 정렬 시스템과 함께 CANON FPA-2500 I 3은 고밀도 패턴화를 위해 웨이퍼의 정확한 위치를 보장합니다. 또한 고급 이미지 프로세싱 및 고급 벡터 기반 패턴 (patterning) 기능이 장착되어 있어 웨이퍼 검사, 조인트 커팅, 고정밀 파이버 패턴 쓰기 어플리케이션에 적합합니다. 이 스테퍼는 기계적 재현성 (mechanical reprodibility) 을 염두에 두고 설계되었으며, 높은 정확도로 중요한 피쳐를 일관되게 패턴화할 수 있습니다. 또한, 이 제품은 장기 안정성과 손쉬운 유지 보수/운영을 제공하도록 설계되었습니다. 유연한 설계를 통해 CANON FPA 2500 I 3은 IC 패키징, MEMS (Micro-electromechanical system) 및 기술 도자기 응용 프로그램을 포함한 다양한 정교한 응용 프로그램을 지원할 수 있습니다. 대용량 생산을 위해 photomask 및 wafer 석판화를위한 완벽한 선택입니다.
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