판매용 중고 CANON FPA 2500 i3 #293601755

CANON FPA 2500 i3은 침수 형 웨이퍼 스테퍼로, 고해상도 패턴을 가진 정밀 리소그래피 프로세스를 허용합니다. 스테퍼는 마스크를 통해 빛을 포토리스 스트 코팅 웨이퍼 표면에 투영하여 작동합니다. 기계는 0.25-1.0 마이크로 미터의 해상도로 패턴을 생성 할 수 있습니다. CANON FPA-2500I3 (CANON FPA-2500I3) 의 플랫폼 설계는 가볍고 유연하며, 다양한 설정에서 기계를 사용할 수 있습니다. 이 시스템은 i-LINE, DUV 및 DUV ArF와 같은 여러 광 시스템을 지원합니다. 마스크는 생산성 향상과 더 작은 패턴 오버레이를 위해 6 인치 터보 회전 레티클을 채택합니다. 또한, 스테퍼는 큰 작업 표면을 특징으로하여 더 큰 크기의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 표면 오염으로부터 보호하기 위해, 기계의 광학은 액체 침수 및 밀폐되도록 설계되었습니다. 광학 장치 를 더욱 보호 하기 위하여, "이오나이저 '가 기계 에 집적 되어 그 환경 으로부터 정전기 를 제거 한다. 이렇게 하면 이미지 품질에 간섭이 발생하지 않습니다. 기계는 또한 ACR (오염 방지 반사) 장치를 가지고 있으며, 이는 공기 중의 입자의 양을 95% 줄이는 데 도움이됩니다. 높은 처리량은 CANON FPA-2500 I3 (CANON FPA-2500 I3) 의 주요 목표이며, 기계에는 이를 달성하기 위해 여러 기능이 장착되어 있습니다. 카메라에는 5 칩 CCD 센서가 포함되어 있어 이미지 캡처가 빨라집니다. 스테퍼는 최대 170 웨이퍼/시간을 처리 할 수 있으며, 뛰어난 이미지 충실도 및 고해상도 패턴을 만들 수 있습니다. 처리량을 증가시키기 위해 기계는 CANON "자동 초점 및 정렬 (Autofocus-and-Align)" 기능을 사용하여 마스크와 웨이퍼를 빠르고 정확하게 정렬할 수 있습니다. 기계는 온보드 컴퓨터 (온보드 컴퓨터) 를 사용하여 작동하며, 이 컴퓨터는 다양한 모션 컨트롤러 (motion controller) 에 모두 연결됩니다. 이 중앙 제어 시스템은 높은 정확성과 정확성을 제공합니다. 또한, 이 시스템에는 원격 작업, 데이터 전송 및 시스템 진단이 가능한 통신 인터페이스가 내장되어 있습니다. 안전 측정 (Safety Measure) 으로서, 기계에는 범핑 방지 장치 (Anti-bumping device) 가 있으며, 이 장치는 사용자가 모든 정렬 매개변수를 올바르게 검증하기 전에 기계가 이동하지 못하도록 합니다. 전반적으로 FPA-2500I3은 정밀 석판 처리에 적합한 기계입니다. 이 제품은 매우 자동화되어 있으며, 높은 처리량으로 뛰어난 품질의 고해상도 패턴을 만들 수 있습니다. 이 기계의 유연성 (Flexibility) 및 안전성 (Safety) 기능은 다양한 유형의 응용 프로그램에 이상적인 도구입니다.