판매용 중고 CANON FPA 2500 i3 #293595403
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ID: 293595403
빈티지: 1995
Stepper, 6"
Reticle size: CANON STD, 5"
Wafer feeder: L-Type
PA Unit: O.F Type, 6"
Chamber: TBW-CD73
Illuminator: FPA-2500 i-line
Console version: V 5.20 A
A Scope: i-Line, TTL
O/Z-Tilt unit: (3) Piezo stacks (L,M,R)
Support mount: (4) Servo passive dampers
Rated power: 18.7 kVA
Lamp house: 1.5 kW
Power supply: 200 V, 50/60 Hz, 3 Phase
1995 vintage.
CANON FPA 2500 i3은 고급 반도체 장치 생산을 위해 설계된 고성능, 고정밀, 지속적인 개선 및 업그레이드 웨이퍼 스테퍼입니다. 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 는 웨이퍼의 부품을 한 번에 하나씩 선택적으로 노출시켜 실리콘 웨이퍼에 이미지를 전송하는 데 사용되는 포토리토그래피 도구 (photolithography tool) 의 한 유형입니다. CANON FPA-2500I3에는 4kW 레이저 노출 소스가 장착되어 있으며, 최대 300mm까지 웨이퍼를 스캔 할 수 있습니다. 이 기계는 0.22um (0.22um) 의 해상도와 0.25um (두께) 의 와퍼에 패턴을 적용할 수 있으며, 정밀도가 높은 노출과 탁월한 정확도와 해상도를 제공합니다. 스테퍼에는 그래픽 사용자 인터페이스와 컴파운드 아이 홈 포지션 파인더 (compound-eye home position finder) 가 장착 된 14 인치 풀 컬러 LCD 패널을 포함하여 매우 자동화되고 효율적인 노출을 보장하는 다양한 기능이 있습니다. 기계는 "정사각형 (square-by-square)" 노출 스타일로 작동하여 빠르고 정확한 웨이퍼 정렬이 가능합니다. 또한 자동 노출 시스템 (Auto-Exposure System) 을 활용하여 노출 시간을 정확하게 파악하고, 노출 오류를 방지하거나 이미지 품질 문제를 방지하기 위해 노출 시간을 자동으로 조정합니다. FPA-2500 I3의 다른 기능으로는 빠른 쓰기 속도, 낮은 배경 노이즈 빔, 저온 플래시 램프, 새로 설계된 빔 전송 시스템 등이 있습니다. 이 기능은 쓰기 시간이 매우 짧고, 노출 시간을 완벽하게 제어합니다. 이 기계는 빠르고 효율적인 생산 프로세스를 위해 설계되었으며, 최소 (changeover) 시간이 필요하며 동시에 여러 번 노출될 수 있습니다. 전반적으로 FPA-2500 I 3은 뛰어난 웨이퍼 스테퍼입니다. 고급 기능, 고해상도 (High Resolution), 고해상도 (High-Precision) 노출을 통해 뛰어난 처리 성능을 제공합니다. 이 기계는 고급 반도체 장치 (Advanced Semiconductor Device) 의 생산에 적합하며, 고유 한 기능으로 인해 오늘날 바쁘고 자동화된 생산 환경에서 사용할 수 있습니다.
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