판매용 중고 CANON FPA 2500 i2 #9411085
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CANON FPA 2500 i2는 고급 반도체 장치 처리를 위해 설계된 고급 웨이퍼 스테퍼입니다. 2500i2 는 다양한 어플리케이션에 적합한 컴팩트한 디자인과 손쉽게 작동할 수 있는 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 를 갖추고 있습니다. 이 장비는 고급 소프트웨어 알고리즘과 하드웨어 구성 요소를 사용하여 높은 정확도, 고감도, 높은 처리량을 제공합니다. "2500i2 '는 자동차· 의료 등 분야의 첨단 응용에 이상적인 다목적 도구다. CANON FPA-2500I2는 크기 위치, 최소 노출 시간 20 밀리초, 최소 노출 영역 최대 6 mm 및 최대 노출 영역 최대 150 mm의 정확도로 높은 정확도와 정밀도를 제공합니다. 이 모든 기능은 시스템의 빠른 복사, 쓰기, 수표 (wafer) 기능 때문에 처리율이 높습니다. 2500i2는 또한 스캔 비전 (scan-vision) 과 같은 고급 노출 기술 (scan-vision) 을 통해 노출의 확대, 일관된 노출 값을 달성하기위한 차등 노출, 정교한 알고리즘을 사용하여 프로세스 일관성 및 처리량을 향상시킵니다. 2500i2 3축 단계는 높은 정확도의 이미징 작업을 위해 향상된 처리량과 유연성을 제공합니다. 자동 단계 (automatic stage) 는 2500i2 렌즈 위의 웨이퍼를 정확하게 배치하고 진동시켜 노출 영역을 정확하게 포획합니다. 또한 로딩 잠금 (load-lock), 레이저 구동 (laser-driving), 웨이퍼 높이 검사기, 선형 단계 수정 및 웨이퍼 위치 오류 수정 (wafer-position error correction) 과 같은 여러 매개 변수를 제공하여 노출 된 영역의 일관된 정렬 및 이미징을 보장합니다. FPA-2500 I2 는 유닛 커스터마이징을 위한 모듈식 플랫폼 (modular platform) 을 제공하여 프로세스를 특정 애플리케이션에 맞게 조정할 수 있습니다. 이 시스템은 자동화를 위해 FLA-300, FLA-400 또는 FLA-1000과 같은 CANON 이미징 소프트웨어에 연결할 수 있습니다. 또한 고급 이미징 응용 프로그램에 DRY-20M 드라이 필름 노출 장치 (옵션) 를 추가 할 수 있습니다. 이 도구는 이미지 해상도, 정확도 및 유연성을 최적화하도록 설계되었습니다. FPA 2500 I 2는 높은 정확도, 높은 감도, 높은 처리량 웨이퍼 스테퍼 이미징 작업을 위한 완벽한 도구입니다. 고급 소프트웨어 알고리즘, 직관적인 사용자 인터페이스 (User Interface), 빠른 처리량 (Fast Throughput), 다양한 어플리케이션 유연성 (Application Flexibility) 의 조합으로 광범위한 산업과 어플리케이션에 적합합니다.
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