판매용 중고 CANON FPA 2500 i2 #9314257
URL이 복사되었습니다!
확대하려면 누르십시오
CANON FPA 2500 i2는 반도체 장치의 제조에 사용되는 웨이퍼 스테퍼입니다. CANON 이전 스테퍼의 차세대 모델 인 FPA 2500i, CANON FPA-2500I2는 실리콘 웨이퍼 표면에 패턴을 그리도록 설계된 단계 및 반복 도구입니다. 이 도구는 193 nm 포토 마스크 작업을 할 때 최대 3 미크론 미만의 해상도를 달성 할 수 있습니다. 이 기계에는 Elect La Rival Multi Dynamic Focus Aiming 장비와 ME2 (Maximum Efficiency Catadioptric) 렌즈의 두 가지 고급 광학 렌즈가 장착되어 있습니다. 라 라이벌 (La Rival) 시스템은 뛰어난 오버레이 정확도를 제공하도록 설계되었으며, 단 하나의 영역이 아닌 전체 노출 범위에 대한 정확성을 유지할 수 있으므로 더 큰 레티클에 다양한 렌즈 (lense) 를 사용할 수 있습니다. ME2 렌즈 (ME2 lens) 는 이전 일련의 렌즈보다 수차 감소, 해상도 개선, 진동에 대한 감도 저하를 혼합하여 제공하는 강력한 장치입니다. FPA-2500 I2는 혁신적이고 신뢰할 수있는 리소그래피 기능과도 통합되어 있습니다. 여기에는 "깊이 모니터링 (depth monitoring)" 으로 알려진 CANON 독점 기법을 기반으로 한 고속 디포커스 감지 장치, 웨이퍼 리소그래피 프로세스를 지원하는 사양 정확한 초점 기계 및 매우 정밀한 리소그래피 정렬을 보장하도록 설계된 고밀도 스테이지 포지셔닝 장치. CANON FPA 2500 I 2는 또한 전체 노출 분야에서 뛰어난 균일 성을 제공 할 수 있습니다. 이것은 프로세스 단계를 단계별로 모니터링하여 고도로 반복 가능한 고정밀 이미징을 제공하는 CANON 새로운 "i-Uniformity" 기술에 의해 활성화됩니다. 또한, CANON FPA-2500 I2는 로트 간의 교정이 필요하지 않으므로, 보다 안정적이고 효율적인 도구이며 더 높은 수율을 보장합니다. 또한 FPA-2500 I 2는 청결 개선 및 다중 증착 옵션을 제공하여 주기 시간을 단축하도록 설계되었습니다. 이러한 모든 기능과 장점은 FPA 2500 I 2를 반도체 장치 생산에 도전적인 작업을위한 뛰어난 도구로 만듭니다.
아직 리뷰가 없습니다