판매용 중고 CANON FPA 2500 i2 #9298440

CANON FPA 2500 i2는 높은 처리량 웨이퍼 생산을 위해 설계된 고급 스텝 앤 리피트 웨이퍼 스테퍼입니다. 150mm ~ 450mm 직경의 웨이퍼를 처리 할 수 있으며, 전례없는 정확성, 반복 가능성 및 처리량을 제공합니다. "빠른 스캔 시간 '은 반도체 업계에서 사용되는 기판에 이상적이며, 빠른 시제품 (prototyping) 과 대용량 (high-volume) 생산을 위한 탁월한 선택이기도 합니다. CANON FPA-2500I2 웨이퍼 스테퍼는 전용 초점 이온 빔 (FIB) 장비를 사용하여 각 웨이퍼를 참조 평면에 정확하게 배치합니다. 내장형, 고해상도 이미징 시스템은 각 웨이퍼의 정확한 배치를 보장합니다. 정확성과 반복 가능성을 보장하기 위해 FPA-2500 I2에는 X 축과 Y 축 모두에 웨이퍼를 배치하는 데 사용되는 2 개의 모터로 구성된 스테이지 드라이브 장치 (stage drive unit) 가 장착되어 있습니다. 또한, 기계는 -60 ~ 160 ° C 범위의 웨이퍼 온도를 수용하도록 설계되어, 다양한 응용에 적합한 증착 및 가공 온도를 허용합니다. 광학 이미징 도구는 픽셀 크기가 20 미터 인 고유 센서를 지원하는 10 배 매크로 오브젝티브 렌즈 및 twoc 플랫 (telecentric) 렌즈로 구성됩니다. 따라서 각 wafer edge를 정확하게 시각화할 수 있습니다. 각 wafer edge는 잘못된 정렬을 감지하고 수정하는 데 사용됩니다. 이를 통해 촬영 할 때 우수한 웨이퍼 형태와 에지 무결성 (edge integrity) 을 보장하고 웨이퍼를 완화합니다. FPA-2500 I 2의 다른 기능으로는 최적화 된 레이저 변위 모니터, 2 단계 냉각 자산 및 쉬운 웨이퍼 핸들러 부착을위한 통합 Dewar 플랜지가 있습니다. 또한 FPA 2500 I 2 는 한 번에 최대 3 층의 웨이퍼를 처리 할 수 있으며, 최대 부하 용량은 약 500kg (7.5 톤) 입니다. FPA 2500 i2 는 가장 까다로운 운영 애플리케이션의 요구 사항을 충족하도록 설계된 프리미엄 웨이퍼 (Premium Wafer) 스테퍼입니다. 높은 처리량과 정확성으로 높은 생산성 (production run) 에 적합하며, 고급 기능 세트 (feature set) 와 견고한 설계 (design) 는 극한의 제조 조건에서 웨이퍼 생산에 이상적입니다. FIB 기반 웨이퍼 배치, 고해상도 이미징 기능 및 유연한 온도 범위를 갖춘 CANON FPA-2500 I2 는 모든 운영 설정에 필수적인 툴입니다.