판매용 중고 CANON FPA 2500 i2 #9298434
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ID: 9298434
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 1994
Stepper, 6", parts system
Power: 18.7 kVA
Reticle size: 6", CANON STD
Wafer feeder: Type-L
PA Unit: 6", O.F Type
Chamber: TBW-CD60
Illuminator: FPA-2500 i line
A Scope: i-line, TTL
T/Z-Tilt Unit: 3 (L,M,R)
Support mount: Servo passive damper 4
Lamp house: 1.5 kW
Electrical: 3Ø, AC 200 V, 50/60 Hz
1994 vintage.
CANON FPA 2500 i2는 고급 반도체 생산을 위해 설계된 고성능 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 기계는 더 넓은 선 너비, 더 높은 수율, 압력에 민감한 출력을 가진 장치를 생산할 수 있도록 도와줍니다. 이 장비의 독점 기술은 CANON 시도 및 참 iTRACT (Image Transfer, Registration, Control Technology) 를 기반으로하며, 사용자에게 뛰어난 패턴화 정확성과 반복 가능성을 제공합니다. CANON FPA-2500I2는 기존의 풀 필드 스테퍼, 반복 스캔 (RS) 스테퍼 및 와이드 필드 스캔 (WFS) 스테퍼를 포함한 광범위한 노출 모드를 갖추고 있습니다. 이 시스템의 RS (RS Mode) 를 사용하면 복잡한 장치 구조의 생산을 돕기 위해 노출되거나 노출되지 않은 웨이퍼 영역을 모두 사용할 수 있습니다. 이 장치의 WFS 모드는 다양한 오버레이 단계를 처리 할 때 유연성을 제공하며, 기존의 스테퍼 (stepper) 시스템에 비해 처리량을 크게 향상시킵니다. 또한 FPA-2500 I2에는 PEM (Peel Exposure Mode) 이 장착되어 있어 높은 정밀도로 여러 레이어의 오버레이를 제어할 수 있습니다. 이 기계는 2.5 x 2.5 µm imaging _ field _ area를 자랑하며 사용자는 각 PE 모드 레이어와 관련하여 빔 크기를 조정할 수 있습니다. 또한 CANON FPA-2500 I2는 노출 시간과 광도를 조정할 수 있는 기능을 제공합니다. CANON FPA-2500 I 2의 다용성 및 성능은 고급 회로 제작에 이상적입니다. 이 도구는 사용자에게 뛰어난 스테퍼 (stepper) 정확도를 제공하여 까다로운 구조로 작업할 수 있으며, 마스크 제작과 관련된 비용을 절감할 수 있습니다. 이 에셋은 또한 사용자에게 광범위한 노출 모드 (Exposure Mode) 를 제공하여 빠르고 효율적으로 작업할 수 있습니다. 강력한 작동으로, FPA-2500I2는 반도체 장치 생산에 적합한 도구입니다.
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