판매용 중고 CANON FPA 2500 i2 #9298425

ID: 9298425
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 1994
Stepper, 6", parts system Power: 18.7 kVA Reticle size: 6", CANON STD Wafer feeder: Type-L PA Unit: 6", O.F Type Chamber: TBW-CD60 Illuminator: FPA-2500 i line A Scope: i-line, TTL T/Z-Tilt Unit: 3 (L,M,R) Support mount: Servo passive damper 4 Lamp house: 1.5 kW Electrical: 3Ø, AC 200 V, 50/60 Hz 1994 vintage.
CANON FPA 2500 i2 웨이퍼 스테퍼는 주로 집적 회로 제작에 사용되는 정밀 장치입니다. 특히, 광학 스테퍼 (Optical Stepper) 는 빛을 사용하여 웨이퍼나 다른 기판에 인쇄하기 위해 레티클 스테이지에 패턴을 이미지화합니다. 이 스테퍼는 고출력 200 와트 YAG 레이저를 사용하여 레티클을 0.5 ½ m 높이의 해상도로 패턴화하여 소스 패턴의 매우 정밀한 이미징을 허용합니다. 정확성을 보장하기 위해 동력 Z 축 (Motorized Z Axis) 을 갖춘 포지셔닝 시스템이 있습니다. 이 시스템은 레티클을 이동시키고 웨이퍼에 올바르게 정렬하는 데 사용됩니다. 이 기계 는 금속 과 복합물 이 혼합 되어 만들어져 있어서, 거대 한 강도 를 내며, 안정성 을 향상 시킨다. 장치의 광학은 굴절식 (refractive), 회절식 (diffractive) 및 기타 고성능 요소로 구성되어 뛰어난 이미징을 제공합니다. 또한, 광학은 니콘 더스트 프리 챔버 (Nikon Dust-Free Chamber) 의 도움으로 일정한 환경에 보관되어 있으며, 이는 이미징 오류를 일으킬 수있는 잔해와 오염 물질을 제거합니다. CANON FPA-2500I2는 모든 DUV/NUV 리소그래피 시스템과 호환됩니다. 고정밀도 컨트롤 및 정밀 이미징 기능을 갖춘 이 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 는 실리콘 웨이퍼 (silicon wafer), 칩 (chips) 또는 유사한 기판에 인쇄할 때 매우 복잡한 이미지를 만들 수 있습니다. 이 컴퓨터에는 2개의 직렬 포트 (Serial Port) 가 있어 외부 컨트롤러를 연결하는 데 사용할 수 있으며, 이미지를 처리한 다음 스테퍼로 보낼 수 있습니다. 또한 CD-ROM 드라이브와 2.4Gb 하드 드라이브가 포함되어 있어 데이터를 백업하고 신속하게 로드할 수 있습니다. 마지막으로, 기계는 35 ° C 온도까지 작동 할 수 있으므로, 연산자는 결과를 손상시키지 않고 비교적 따뜻한 환경에서 작동 할 수 있습니다. 결론적으로 FPA-2500 I2 웨이퍼 스테퍼는 인상적인 장비입니다. '신뢰성 있는 하드웨어 (hardware)' 와 '정교한 광학 (optical)' 요소를 결합하여 집적회로 및 기타 정밀 어플리케이션의 제작을 위한 최고의 선택입니다.
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