판매용 중고 CANON FPA 2500 i2 #9298398

ID: 9298398
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 1994
Stepper, 6" Power: 18.7 kVA Reticle size: 6", Canon STD Wafer feeder: Type-L PA Unit: 6", O.F Type Chamber: TBW-CD60 Illuminator: FPA-2500 i line A Scope: i-line, TTL T/Z-Tilt Unit: 3 (L,M,R) Support mount: Servo passive damper Lamp house: 1.5 kW Electrical: 3Ø, AC 200 V, 50/60 Hz 1994 vintage.
CANON FPA 2500 i2는 연구 개발 실험실과 산업 환경에서 사용되는 고급 반자동, 광학, 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 장비는 효율성과 정확성에 최적화된 여러 가지 인상적인 기능을 갖추고 있습니다. 예를 들어, 통합 된 Reflective Super High NA (Ref-SHNA) 광학 디자인은 전통적인 석판 시스템과 비교하여 더 높은 수치 조리개를 생성하기위한 것입니다. 이렇게 하면 피쳐 크기가 작아져서 해상도가 높고, 정확도가 높아집니다. 또한 이 설계는 회절, 분산, 소음을 최소화하여 전반적인 성능을 향상시킵니다. 이 기계 에는 "레이저 스크리버 '가 장착 되어 있는데, 이" 스크리버' 는 진동 억제 "시스템 '을 가지고 있으며, 이것 은" 스크라이빙' 작업 중 의 진동 오류 를 줄이는 데 사용 된다. 이것은 선의 정확도를 향상시키면서 디포커스와 오염을 줄입니다. 또한 "레이저 스크리버 '는 3 차원 의 절단 과 섬광 을 포함 하여, 더 큰 제어 와 정확도 를 제공 하는 고급" 디자인' 을 갖추고 있다. 캐논 FPA-2500I2 (CANON FPA-2500I2) 는 직경이 최대 200mm 인 넓은 영역을 이미징할 수 있으며, 정확한 정렬을 위해 정방향, 역방향, 회전 등 다양한 방향으로 이미징할 수 있습니다. 이 장치에는 자동 웨이퍼 처리 장치 (Automatic Wafer Handling Machine) 가 장착되어 있어 정확성과 정밀도를 갖춘 고속 프로세스가 가능합니다. 또한, 이 도구는 손쉽게 작동할 수 있도록 터치 스크린 디스플레이 (Touch Screen Display) 와 함께 단순화된 사용자 인터페이스를 제공하며, 특정 패턴을 세밀하게 조정할 수 있는 맞춤형 레시피를 제공합니다. 또한, Positive (PR) 또는 NR (Negative) 저항을위한 숙박 및 다양한 액체를 구현하는 능력이 제공됩니다. FPA-2500 I2 는 다양한 연구, 개발 및 생산 애플리케이션을 위한 매우 다양한 리소그래피 (lithography) 자산을 제공합니다. 첨단 기능과 뛰어난 성능을 갖춘 이 모델은 고수율 (High Yield Rate) 로 고정밀도 (High-Precision) 패턴을 만드는 완벽한 도구입니다.
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