판매용 중고 CANON FPA 2500 i2 #9033675

CANON FPA 2500 i2 웨이퍼 스테퍼는 고정밀 반도체 제조를 위해 설계된 차세대 리소그래피 장비입니다. 이 시스템에는 넓은 제어 가능한 범위의 고정밀 액추에이터 (high-precision actuator), 고급 광학 요소가있는 투영 장치 (projection unit) 및 우수한 조명기 (illumination machine) 가 장착되어 있습니다. CANON FPA-2500I2는 서브 미크론에서 수백 미크론 너비의 고급 리소그래피 프로세스를 위해 설계되었으며, 반복 가능한 정확도는 0.5 nm입니다. 이 도구는 이중 압력 공기 베어링 액츄에이터를 사용하며, 이 액추에이터는 공기 압력을 사용하여 서브 미크론 (sub-micron) 단계에서 웨이퍼를 정확하게 이동합니다. "컨트롤러 '를 할 수 있는 넓은 범위 때문 에 그것 을 사용 하여 최대 수백" 미크론' 의 폭 을 가진 매우 다양 한 "패턴 '을 처리 할 수 있다. 자산에는 고유 한 고급 광학 시스템 (Optical System) 으로 구성된 투영 모델이 있으며, 이는 석판화 제품의 정밀도를 증가시킵니다. 또한, 고급 단계 시프트 (phase shift) 및 조명 마스크 구조 (lit mask structure) 를 갖춘 환형 슬릿을 사용하는 우수한 조명 장비를 통합하여 필드 및 이미지 해상도의 깊이를 향상시킬 수 있습니다. 또한 FPA-2500 I2 웨이퍼 스테퍼에는 여러 가지 안전 기능이 포함되어 있습니다. 자동화된 인스캔 (in-scan) 옵티컬 포스 모니터 시스템을 사용하여 노출 단계에서 실리콘 레이어의 표면 손상 또는 파괴를 방지하고, 이미징 시작 전에 압력 변화를 감지합니다. 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 에는 기계의 온도와 모니터 결함을 실시간으로 제어 할 수있는 정밀 관측 장치가 장착되어 있습니다. 전반적으로 FPA-2500 I 2는 반도체 제조와 같은 정밀 리소그래피 응용을 위해 설계된 뛰어난 웨이퍼 스테퍼입니다. 이중압 액추에이터 (double-pressure actuator) 와 우수한 광학 요소를 활용하여 나노미터 수준에서 상세하고 반복 가능한 정확성을 보장합니다. 또한, 안전 (Safety) 기능은 운영자가 품질 (Quality) 을 통해 쉽고 안정적인 운영을 즐길 수 있도록 보장합니다.