판매용 중고 CANON FPA 2500 i2 #293807999
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ID: 293807999
빈티지: 1994
Stepper
Control rack
Console rack
Reticle charger
Wafer loader
1994 vintage.
CANON FPA 2500 i2는 매우 정확하고 정확한 웨이퍼 스테퍼입니다. 높은 정밀 웨이퍼 생산의 요구를 충족하도록 특별히 설계되었습니다. 이 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 는 0.2m의 인상적인 해상도를 특징으로하여 최소한의 가장자리 손실로 패턴을 웨이퍼로 정확하게 옮길 수 있습니다. 또한, CANON FPA-2500I2의 최대 노출 영역은 직경이 9 인치이며, 복잡한 형상으로 높은 양의 웨이퍼를 생산할 수 있습니다. FPA-2500 I2 는 다양한 첨단 기술을 활용하여 패턴을 웨이퍼로 전송할 때 정확성과 신뢰성을 보장합니다. 이러한 기술에는 조명 빔의 노출 각도, 노출 분포를 최적화하는 스캐너 제어 알고리즘 (scanner control algorithm) 및 작은 직경 패턴의 노출뿐만 아니라 큰 직경 패턴의 노출이 가능한 매핑 테이블 패턴 노출 (mapping table pattern exposure) 을 조정하여 슬릿 노출의 잘못된 배치를 방지합니다. 패턴. 이러한 모든 기술은 고품질, 반복 가능한 패턴 전송을 위해 함께 작동합니다. 캐논 FPA 2500 I 2 (CANON FPA 2500 I 2) 는 웨이퍼 스테퍼 패턴 전송을위한 고급 기술 외에도 사용자에게 매우 친숙한 기능을 제공합니다. 이러한 기능에는 Windows와 같은 그래픽 사용자 인터페이스, 손쉬운 작동을 위한 고해상도 LCD 패널, 노출 장치를 빠르고 정확하게 정렬하고 배치하는 자동 정렬 시스템 (Automatic Alignment System) 등이 있습니다. 이 노출 장치에는 쿼츠 램프 (Quartz lamp) 콜드 미러 (cold mirror) 가 있습니다. 이 미러는 코팅을 사용하여 열 노출을 최소화하고 노출 장치의 변형을 억제하여 생산 중 열 변형으로 인해 패턴 인쇄가 왜곡되지 않습니다. 캐논 (CANON) FPA-2500 I2 는 또한 빠른 반복 가능한 패턴 전송 덕분에 인상적인 처리율을 자랑합니다. 이 웨이퍼 스테퍼는 시간당 최대 6,000 (300mm) 의 처리율로 웨이퍼를 생성 할 수 있습니다. 견고하고 정확한 기술과 결합된 이 처리 속도는 FPA-2500 I 2 를 대용량 웨이퍼 생산에 이상적인 선택으로 만듭니다. 결론적으로, FPA-2500I2 는 최고 품질의 패턴 전송 (pattern transfer) 및 처리율을 보장하는 다양한 기술을 갖춘, 매우 고급적이고 신뢰성 있는 웨이퍼 스테퍼입니다. 사용자 친화적 인 기능과 빠른 운영 속도를 통해 대용량 웨이퍼 (wafer) 생산에 이상적입니다.
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