판매용 중고 CANON FPA 2500 i2 #293608643

CANON FPA 2500 i2는 프로덕션 환경을 위해 설계된 웨이퍼 스테퍼입니다. 파퍼 (wafer) 표면에 높은 양의 정확한 패턴을 정확하게 생성하기 위해 2 차원 정렬 방법을 사용합니다. 이 최첨단 머신의 최대 해상도는 0.3um이며 필드 크기는 9.6mm x 9.6mm입니다. CANON FPA-2500I2 의 주요 응용 분야는 미세한 패턴화 작업뿐만 아니라 금속, GaAS, SOI 등 다양한 재료에 대한 리소그래피 작업입니다. FPA-2500 I2에는 Edmund Optics Flexible Magnification System을 포함한 독점 CANON 프로젝션 광학 장비가 장착되어 있습니다. 이 장치는 고해상도 이미징 기능을 제공하며, 빠르고 반복 가능한 정렬 및 노출이 가능합니다. 프로젝션 광학 기계는 250mm Fluorite 렌즈와 LaB6 음극 전원에서 작동합니다. FPA 2500 i2에는 마스크 정렬을위한 고해상도 이미징 도구가 있습니다. 에셋은 4 개의 CCD 비디오 카메라를 사용하여 웨이퍼 서피스에서 마스크 패턴의 정확한 위치를 결정합니다. 마스크 패턴을 웨이퍼에 정확하게 정렬하도록 정렬 모델 (alignment model) 을 빠르게 보정 및 조정할 수 있습니다. 또한, 이미징 장비는 빠른 윈도우 캡처 시간 (0.24 초) 을 자랑하며 8M 픽셀 해상도가 향상되었습니다. 신뢰성 향상을 위해, FPA 2500 I 2에는 필름 무게가 다르도록 자동으로 조정되는 필름 무게 센서 시스템이 있습니다. 또한 자동 청소 장치 (automated cleaning unit) 를 사용하여 주기 시간을 줄이고 광학의 먼지 오염을 방지합니다. CANON FPA-2500 I2는 강력하고 효율적인 웨이퍼 스테퍼입니다. Edmund Optics Flexible Magnification Machine은 수율을 늘릴 수 있으며, 필름 무게 센서 도구, 자동 청소 자산 및 고급 정렬 모델은 정확하고 반복 가능한 패턴 결과를 보장합니다. 이 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 는 고급 리소그래피 및 고급 패턴 응용 프로그램을위한 매우 안정적이고 생산적인 도구입니다.