판매용 중고 CANON FPA 2500 i2 #293608642

CANON FPA 2500 i2는 반도체 장치 제조를 위해 특별히 설계된 고정밀 웨이퍼 스테퍼입니다. 스테퍼의 고급 디자인은 효율적이고 고성능 작동을 위해 2 nm 및 2.5 nm 정렬 정확도 및 10 nm 오버레이 정확도와 같은 고급 기능을 제공합니다. CANON FPA-2500I2 는 2 개의 광 간섭계를 사용하여 2 개의 축을 모니터링하여 고정밀도 및 안정성을 제공하는 임베디드 닫힌 루프 (closed-loop) 컨트롤러를 사용하여 제어됩니다. 이 기계는 또한 100m 후면 초점 길이와 0.9mm 의 조리개 (aperture) 를 제공하여 정확한 장치 제작을 위해 빛이 우수한 균일성을 갖도록 보장합니다. 이 기계는 정밀 다중 계층 리소그래피 장비를 사용하여 노출 시간 (exposure time), 플래시 강도 (flash intensity), 노출 각도 (angle of exposure) 와 같은 노출 매개변수를 완벽하게 제어합니다. 초정밀 이미지 노출 시스템은 매우 정확하고 제어된 디바이스 구성 프로세스를 보장합니다. 이 스테퍼에는 최신 패턴 인식 (pattern-recognition) 기술을 활용하여 정확하고 효과적인 노출 제어를 수행하는 완전 자동 노출 장치 (Full Automatic Exposure Unit) 가 있습니다. 이 기계는 또한 빠르고, 정확하며, 반복 가능한 다중 계층 등록을 제공하는 프로세스 모니터링 기계를 갖추고 있습니다. FPA-2500 I2 는 뛰어난 유연성과 확장성 옵션을 제공합니다. 개폐식 노출 패키지 (Fractable Exposure Package) 를 통해 단일 레이어에서 다중 레이어 (Multilayer) 노출로 원활하게 전환할 수 있으므로 지속적으로 정확한 노출 처리가 가능합니다. CANON FPA 2500 I 2는 현대 반도체 장치 제조의 높은 표준을 충족시키는 매우 정밀한 스테퍼입니다. 기계의 고급 기능을 사용하면 매우 정밀한 장치를 정확하고 정확하게 제작할 수 있습니다 (영문). 이 기계의 유연한 디자인은 모든 반도체 개발 시설에 이상적인 선택입니다.