판매용 중고 CANON FPA 2500 i2 #293604238

ID: 293604238
Stepper.
CANON FPA 2500 i2는 모든 nanofabrication 및 반도체 프로세스에 적합한 최첨단 고성능 프로젝션 스테퍼입니다. 특히 최고 품질의 요구 사항을 충족하는 매우 정확한 포토 마스크 (photomask) 를 제작하도록 설계되었습니다. CANON FPA-2500I2는 최대 200mm 실리콘 웨이퍼를 지원하는 고정밀도의 특허를받은 Vacuum Chucking Mechanism으로 제작되었습니다. 이 메커니즘은 사실상 정적 (static) 환경을 제공하여 최고 수준의 정확성과 반복성을 보장합니다. 이 장치에는 전체 시야에서 효율적인 가벼운 균일성을 가능하게하는 통합 동축 구조 광 반사 조명 장비 (Coaxial Structured Light Reflective Illumination Equipment) 가 장착되어 있습니다. CANON FPA-2500 I2는 2.5nm 해상도의 다양한 수치 조리개 광학을 가지고 있으며, 이는 반도체 웨이퍼 제작에 이상적인 선택입니다. 또한 낮은 왜곡 구형 오브젝티브 렌즈 (objective lens) 를 장착하여 빠른 스테퍼 포커스 속도를 달성 할 수 있습니다. 또한, 이 스테퍼는 처리 시간을 줄이고 처리량을 높여주는 고급 고속 스캔 리소그래피 (fast-scan lithography) 시스템을 갖추고 있습니다. 또한 큰 댐핑 베이스 (damping base) 와 같은 고급 진동 방지 (anti-vbration) 기술을 사용하여 작동 중 진동을 제거합니다. 마지막으로 FPA-2500I2 는 응답성이 높은 제어 장치 (control unit) 를 사용하여 간단하고 효율적으로 작동할 수 있습니다. 이 Control Machine 은 사용이 간편한 사용자 친화적 인터페이스로 설계되었습니다. 또한 레이어 두께 (Layer thickness) 및 노출 설정 (Exposure Settings) 과 같은 모든 설정에 대한 자세한 정보를 제공합니다. 전반적으로 FPA-2500 I 2는 nanofabrication 및 반도체 프로세스에 뛰어난 스테퍼입니다. 최고의 요구 사항을 충족하는 높은 정확성, 반복성, 처리량을 보장합니다. 고급 디자인, 빠른 스캔 석판화 도구, 낮은 왜곡 광학, 사용자 친화적 인터페이스 (User Friendly Interface) 를 통해 모든 반도체 어플리케이션에 이상적인 선택이 가능합니다.
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