판매용 중고 CANON FPA 2000 i1 #9396114

CANON FPA 2000 i1은 CANON 제품군의 가장 비용 효율적인 I 라인을 사용하는 웨이퍼 스테퍼입니다. FPA 2000 은 높은 해상도와 정확성을 통해 정확한 처리 시간을 제공합니다. 모델 i1에는 고급 스캐너 장비와 개선된 에지 정의를 위한 CANON 독점 광학이 포함되어 있습니다. 레이저 정렬 및 백라이트를 사용하면 안정성이 매우 낮게 유지되어 최고 수준의 성공을 거둘 수 있습니다 (영문). 또한 CANON 특허를받은 ScanShift System을 통합하여 응용 프로그램의 기능 등록을 개선하고 반복합니다. 이러한 기능을 통해 FPA 2000은 고밀도 상호 연결 시스템, 고전압 CMOS, 비휘발성 메모리, MEMS 장치 등 다양한 장치 유형을 만들 수 있습니다. 객관적인 렌즈와 조리개는 최소 선폭 0.18 미크론 (정렬 정확도 < 5 nm) 의 가장 작은 기능을 이미지하도록 구성됩니다. CANON FPA2000-I1은 또한 개선 된 진공 장치를 특징으로하여 입자 오염을 줄이고 해상도를 높입니다. 다른 주목할만한 기능으로는 특허를받은 VLE Exposure Machine, 완전히 통합 된 비 접촉 도량형 개요 도구, 고급 온보드 프로세스 제어 및 자동 정렬 자산이 있습니다. VLE 모델은 뛰어난 정확성과 반복성 (repeatability) 을 제공할뿐만 아니라, 다른 기판에서 발생할 수있는 리소그래피의 전체 보드 변형을 사실상 제거하는 것으로 나타났습니다. FPA 2000에는 터치 스크린 인터페이스가 포함된 인터페이스 모듈 (interface-module) 이 포함되어 있어 노출 레시피를 쉽게 사용자 정의할 수 있습니다. 고급 제어 화면 (Advanced Control Screen) 을 통해 사용자는 프로세스와 관련된 모든 정보에 액세스할 수 있으며, 을 (를) 비롯한 다양한 매개변수를 제어할 수 있습니다. 초점 위치, 필드 병합, 노출 에너지 및 광학 요소의 위치. 또한, 인터페이스 모듈을 사용하면 여러 레시피를 함께 바인딩하여 신속하게 처리할 수 있습니다. FPA-2000I1 의 정확성은 고급 생산 요구에 적합한 선택입니다. 고밀도 (high-density) 및 MEMS 장치 제조와 같은 다양한 어플리케이션에 이상적인 솔루션입니다. 안정된 분야로, 가장 어려운 제품을 해결할 수 있으며, 또한 신뢰성이 높습니다.