판매용 중고 CANON FPA 2000 i1 #9313277

CANON FPA 2000 i1은 웨이퍼 스테퍼로, 반도체 장치의 제조에 사용되는 고정밀 기기입니다. 이 장비는 반도체 소자 생산 공정의 효율성과 정확성을 높이기 위해 단일 (single) 및 다중 (multiple) 웨이퍼를 정렬하고 배치하도록 설계되었습니다. 캐논 FPA2000-I1 (CANON FPA2000-I1) 은 매우 민감하고 정확한 XY 스캐닝 단계를 갖추어 웨이퍼 패턴으로 패턴 기능을 정확하게 정렬합니다. 스테이지는 WAAM (Wafer Alignment and Masking) 프로세스 중 정확하고 정확한 스캐닝이 가능한 고해상도 직접 드라이브 모터로 구동됩니다. 또한, 시스템에는 독점 소프트웨어를 사용하여 결함 또는 변형을 위해 복잡한 웨이퍼 (wafer) 패턴을 검사하는 검사 카메라 유닛이 장착되어 있습니다. FPA-2000I1 (FPA-2000I1) 의 필드 영역은 다양한 프로세서가 단일 웨이퍼에 패턴화되기에 충분합니다. 고해상도 이미지 센서와 실시간 처리 장치 (Real-Time Processing Machine) 가 특징이며, 이는 높은 해상도의 단일 패턴화를 제공합니다. 또한 할로겐 고 조명 램프 (halogen high-illumination lamp) 가 특징이며 광범위한 웨이퍼 기판 크기와 모양을 지원하여 생산 효율성을 향상시킵니다. FPA 2000 I 1에는 고속 벡터 스테퍼 알고리즘이 포함되어 있어 고속 리소그래피 노출이 가능합니다. XY 단계 하단에는 긴 진공 슬롯 (long vacuum slot) 이 있으며, 여러 개의 흡입 컵 (suction cup) 이 장착되어 있어 노출 과정 전반에 걸쳐 기판을 안전하고 안정적으로 처리 할 수 있습니다. 이 고정밀 도구는 CANON EDS-2 (Exposure Data Storage Asset) 및 CANON PST-3 (Process Sparing Tool) 에서 관리하여 정확한 웨이퍼 에지 감지, 과도한 웨이퍼 동작 감쇠 및 웨이퍼 레벨 결함 검사를 제공합니다. CANON FPA 2000 I 1은 각기 다른 환경 설정에서 일관되게 작동할 수 있도록 온도가 안정적인 환경을 갖추고 있습니다. 요컨대, FPA-2000 I 1은 특수 반도체 장치 및 회로의 제작을 지원하도록 설계된 고정밀 웨이퍼 스테퍼입니다. 고속, 정확한 웨이퍼 정렬 및 처리에 이상적인 도구입니다. 정확한 XY 스캔 스테이지와 긴 진공 슬롯이 장착되어 있으며 CANON 독점 소프트웨어 프로그램을 통해 관리됩니다.