판매용 중고 CANON FPA 2000 i1 #9298396
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판매
ID: 9298396
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 1992
Stepper, 6"
Power: 15.3 kkVA
Reticle size: 5", CANON STD
Wafer feeder: Type-L
PA Unit: 6", O.F Type
Chamber: TBW-CD50 W
Console version: V5.13B
Illuminator: FPA-2000 i line
A Scope: i-line, TTL
T/Z-Tilt Unit: Piezo Stack,3 (L,M,R)
Support mount: Servo passive damper 4
Lamp house: 1.5 kW
Electrical: 3Ø, AC 200 V, 50/60 Hz
1992 vintage.
CANON FPA 2000 i1은 필드 적용 1:1, 숫자 조리개 0.50 및 작업 거리 2.6mm의 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 제품은 다양한 종류의 반도체 웨이퍼를 정확하게 처리하도록 설계되었습니다. 다재다능하며 150nm에서 6.5 미크론까지 광범위한 반도체 현장 응용을 처리 할 수 있습니다. CANON FPA2000-I1은 모든 종류의 반도체 웨이퍼를 처리하기 위해 높은 수준의 정확성과 해상도를 제공합니다. 디바이스는 이중 모드이며 단일/다중 웨이퍼 처리가 가능합니다. 단일 웨이퍼의 경우 30Hz 공정 속도, 다중 웨이퍼의 경우 시간당 최대 800Hz 웨이퍼로 설계되었습니다. FPA-2000I1은 레이저 정렬을 사용하여 패턴 및 레티클 배치의 정확성을 보장합니다. FPA2000-I1의 온도 19 ± 4 ° C 및 상대 습도 45 ~ 65% 를 유지하는 대기 제어 시스템이 있습니다. DC 배율은 1.0 ~ 12.5 x, XY 해상도는 0.3 nm로 정확도와 정밀도가 필수적인 모든 애플리케이션에 적합합니다. FPA-2000 I1은 또한 EPI/이온 임플란트 기능, 에어 베어링 빔 스캔, 400 x 배율에서 1% 의 낮은 총 고조파 왜곡, 길 잃은 빛을 제어하는 오프 축 조명 및 UV 광섬유 조작을 특징으로합니다. 웨이퍼 스테퍼에는 4 단계 정렬이 장착되어 웨이퍼를 처리 할 때 높은 정밀도를 보장합니다. 뿐 만 아니라, 이 기계 는 청소실 환경 에서 사용 할 수 있도록 설계 되었으며, 화학 "에칭 '을 할 수 있다. 오토 웨지 메이커 (auto-wedge maker) 를 내장하여 가공을 위해 웨이퍼를 준비하는 데 걸리는 시간을 줄여 줍니다. CANON FPA-2000 I 1에는 경고 알림과 사용자 친화적 IC 프로그래머를위한 LED 바 디스플레이가 있습니다. 결론적으로, FPA 2000 I 1은 광범위한 반도체 웨이퍼 응용 프로그램을 처리하도록 설계된 광학 웨이퍼 스테퍼입니다. 높은 수준의 정확성과 해상도, 듀얼 모드 작동, 레이저 정렬, EPI/이온 임플란트 기능 및 기타 기능을 제공합니다. 또한 대기 제어 시스템, 4 단계 정렬, LED 바 디스플레이 및 사용자 친화적 인 IC 프로그래머가 장치를 청소실 환경에 이상적으로 만듭니다.
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