판매용 중고 CANON FPA 2000 i1 #9251787

CANON FPA 2000 i1
ID: 9251787
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 1999
i-Line stepper, 6" 1999 vintage.
CANON FPA 2000 i1은 마이크로 분류 응용 프로그램을 위해 특별히 설계된 고급 웨이퍼 스테퍼입니다. 매우 정확 하고 정확 한 이 기계 는 인상적 인 결과 를 가져올 수 있어, 가장 까다로운 생산 과정 에 이상적 인 선택 을 할 수 있게 해 준다. "깨어라!" ( CANON FPA2000-I1은 박막 패턴화를 위해 안정적이고 반복 가능한 플랫폼을 제공하며, 정렬 정확도는 ± 1.5 미크론입니다. 웨이퍼 스캐닝 기술을 사용합니다. 즉, 고해상도를 통해 4.7 미크론의 해상도로 x축 및 Y축 (Y- 방향) 을 따라 웨이퍼를 스캔 할 수 있습니다. 4.7 미크론 스팟 크기의 원격 중심 광학을 사용하여 정밀도가 높습니다. 한편, 이 장치에는 프로그래밍 가능한 노출 시간 (exposure time) 과 다중 노출 옵션 (multiple exposure options) 이 있어 사용자가 웨이퍼의 특정 레이어에 대한 노출을 조정할 수 있습니다. 고급 FPA-2000I1 은 또한 상단 (Top) 및 하단 (Bottom) 비전 (Vision) 시스템을 모두 갖추고 있어 더 큰 정확성과 반복성으로 패턴을 정렬하는 기능을 제공합니다. 또한 Wafer Thickness (웨이퍼 두께) 및 Overlay Alignment (오버레이 정렬) 를 보다 정확하게 측정할 수 있습니다. 경직된 s/N 제어 시스템과 함께, 이 스테퍼는 전체 프로세스 사이클 전반에 걸쳐 정밀한 정렬을 유지할 수 있습니다. CANON FPA-2000 I 1은 자동 로드 및 언로드 시스템, 온보드 클러스터 도구 및 통합 스핀 코터 개발자로 제작되었습니다. 즉, 다양한 애플리케이션에 사용하기 쉽고 적합하게 만들 수 있습니다. 고급 기능에도 불구하고 FPA 2000 I 1은 다른 고급 웨이퍼 스테퍼와 달리 비교적 간단하게 작동합니다. CANON FPA 2000 I 1은 리소그래피 프로세스에 완벽하게 적합하므로 사용자에게 정밀하게 다양한 작업을 수행할 수 있습니다. 나노 스케일 (Nanoscale) 구조의 패턴에서 마이크로 전자 기기의 패키징에 이르기까지, 이 장치 통합 설계를 통해 사용자는 가장 향상된 프로세스를 손쉽게 완료할 수 있습니다. 이 모든 기능을 통해 운영 및 연구 환경에 이상적인 선택이 됩니다. 생산성을 향상시키고, 매번 인상적인 결과를 얻을 수 있습니다.
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