판매용 중고 CANON FPA 2000 i1 #9247809

캐논 FPA 2000 i1 (CANON FPA 2000 i1) 은 고성능 집적 회로 구성 요소를 효율적으로 생산하기 위해 필요한 고급 기능과 기술로 설계된 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 장비를 사용하면 사용자가 하위 미크론 수준의 기능 크기와 +/- 0.5 미크론의 정확한 오버레이 전위를 정확하게 달성 할 수 있습니다. CANON FPA2000-I1은 2 미크론 기능을 생성 할 수있는 2 바운스 비대칭 크로스 벡터 정렬 시스템이있는 스테퍼 메커니즘을 사용합니다. 이 장치는 최대한의 유연성 (Flexibility) 과 성능 (Performance) 을 제공하도록 설계되었으며, 이 장치를 통해 프로세스 요구에 따라 자동으로 설정을 조정할 수 있습니다. 이 기계에는 강력한 이미지 처리 도구와 고급 이미징 기술이 포함되어 있습니다. FPA-2000I1은 고해상도 흑백 카메라와 열 증발기 테스트 단계를 통합하여 오버레이 정렬 성능을 정확하게 결정합니다. 프로세스 성능을 향상시키기 위해 HISA (High-Speed Interference Analysis Tool) 를 포함한 다양한 추가 구성 요소도 제공됩니다. 또한 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 는 작동 중 에너지 소비를 줄이고 서비스 통화를 최소화하는 강력한 플랫폼을 제공하는 저전력 (low-power) 모드를 제공합니다. 이 자산은 유지 보수 기능 (maintenance function) 이 내장되어 있어 결함이 있는 구성 요소를 쉽게 진단하고 복구할 수 있습니다. 특별한 정밀도가 필요한 프로세스의 경우, CANON FPA-2000I1에는 고급 이미지 강화 모델이 장착되어 있습니다. 이 장비를 사용하면 사용자가 나노 미터의 분수로 측정 된 피쳐 크기를 정확하게 달성 할 수 있습니다. 이 시스템은 직접 쓰기 (direct-write) 기술을 통합하여 일반적으로 전자 빔 리소그래피 (electron beam lithography) 와 관련된 해상도에서 패턴을 정확하게 재현할 수 있습니다. FPA2000-I1 은 CANON 유연한 아키텍처 (Flexible Architecture) 를 기반으로 하며, 이를 통해 사용자는 해당 운영 프로세스의 특정 요구에 맞게 장치를 쉽게 사용자 정의할 수 있습니다. 고성능 이미지 안정화 시스템 (Image Stabilizing Machine) 과 같은 내장 대책은 사용자가 광범위한 반복성을 갖춘 높은 정확도 구성 요소를 안정적으로 생산할 수 있도록 보장하며 광학 노출도 정확하게 조정할 수 있도록 합니다. FPA 2000 I 1 은 복잡한 패턴화 (patterning) 요구 사항이 있는 디바이스에 대해 탁월한 수준의 광 성능이 필요한 사용자에게 유용한 툴입니다. 이 툴은 강력한 성능, 고성능 집적 회로에 필요한 고급 (advanced) 기능을 제공합니다.