판매용 중고 CANON FPA 2000 i1 #293625673

CANON FPA 2000 i1 Wafer Stepper는 다양한 리소그래피 관련 작업을 처리하도록 설계된 완전히 자동화 된 고정밀 석판 도구입니다. 첨단 마이크로 스테핑 (micretping) 및 사진 정렬 기술로 석판화 공정에 대한 전례없는 제어를 제공합니다. "마이크로테핑 '의 고해상도 는" 웨이퍼' 의 정밀 한 무늬 를 가능 케 하는 반면, 사진 정렬 기술 은 각 노출 된 층 의 정확하고 신뢰 할 만한 정렬 을 보장 해 준다. CANON FPA2000-I1에는 최대 크기가 200mm 인 웨이퍼를 로드하고 언로드하는 4 인치 웨이퍼 처리 로봇이 장착되어 있습니다. 로봇은 뛰어난 반복성과 정확성을 제공하여 대용량, 고품질 리소그래피 (lithography) 처리를 가능하게 합니다. 이 장비의 고급형, 비 접촉 포커싱 시스템은 웨이퍼의 정확한 패턴을 보장하며, 고유 한 자체 교정 자동 노출 장치 (self-calibrating auto exposure unit) 는 뛰어난 정확도로 웨이퍼의 일관된 노출을 제공합니다. 이 기계에는 고출력 ArF 레이저 소스와 다양한 렌즈 (lense) 및 레이저 (Laser) 전원 설정을 갖춘 고속 노출 도구가 포함되어 있습니다. 이를 통해 자산은 다양한 애플리케이션의 요구 사항을 충족할 수 있습니다 (예: 다양한 패턴화). 또한, 모델의 웨이퍼 플레이트는 노출 과정에 뛰어난 균일성과 안정성을 제공합니다. FPA-2000I1 은 첨단 기계, 전자, 광학 기술을 활용하여 효율적이고 안정적인 성능을 제공하도록 설계되었습니다. 컴팩트 (Compact) 레이아웃은 쉽게 설치할 수 있으며 최대 450Hz 출력 주파수는 높은 처리량과 높은 생산성을 제공합니다. 이 장비는 또한 다양한 유지 보수 기능 (maintenance function) 과 고급 진단 (advanced diagnostics) 을 통해 신속하고 효율적인 문제 해결 및 유지 관리를 보장합니다. 결론적으로, FPA-2000 I1은 뛰어난 석판화 성능을 제공하기 위해 설계된 고급적이고 신뢰할 수있는 웨이퍼 스테퍼입니다. 고급 기술은 뛰어난 웨이퍼 패턴화 (Wafer Patterning) 의 정확성과 일관된 노출을 제공하는 반면, 높은 처리량과 간편한 설치를 통해 효과적이고 안정적인 성능을 보장합니다.