판매용 중고 CANON FPA 2000 i1 #293606920

CANON FPA 2000 i1은 CANON Inc.에서 제조 한 웨이퍼 스테퍼입니다. 반도체 소자 제작용 파운드리 (foundries) 와 반도체 (semiconductor) 패브에 사용되는 고성능 스테퍼다. CANON FPA2000-I1은 대형 (2,000mm) 스테이지와 고정밀 다중 노출 패턴 메커니즘을 갖추고 있습니다. 2 축 모터 구동 선형 스테이지가 장착되어 있으며, 각 축에 5,000 mm의 대형 스캐닝 범위를 제공합니다. 단일 패스로 4 인치 또는 5 인치 웨이퍼를 노출 할 수 있습니다. 또한, FPA-2000I1은 고급 스테퍼 제어 시스템을 갖추고 있으며, 여러 노드를 정확하고 정확하게 배치 할 수 있도록 함으로써 0.25 zm 프로세스 노드 이상에 대한 복잡한 패턴을 만들 수 있습니다. FPA 2000 i1은 80 wph 이상의 높은 처리량에서 3 선형 동기 패턴화가 가능합니다. 스텝퍼 (Stepper) 에는 여러 디스플레이 모드가 장착되어 있어 사용자가 빠르게 전환할 수 있으며, 엔지니어링 테스트 (Engineering Testing) 가 프로세스를 빠르게 평가하거나 특정 노출 기법의 영향을 테스트하는 데 이상적입니다. 또한, FPA-2000 I1에는 4 방향 입/출력 신호 시스템이 장착되어 있어 다양한 외부 장치 및 컨트롤러에 연결할 수 있습니다. CANON FPA 2000 I 1은 또한 고해상도, 빠른 패턴화 및 용량 제어를 특징으로하며, 패턴 왜곡을 최소화하면서 최적의 패턴화 성능을 얻을 수 있습니다. 스테퍼 (stepper) 에는 패턴을 참조 이미지와 비교하여 정확한 색상 표현을 보장하는 색도 측정 시스템이 있습니다. 또한 FPA2000-I1 은 모듈식 (modular) 구성으로 유지 보수가 가능하도록 설계되어 있어 부품 교체 및 수리가 용이합니다. 전반적으로 FPA-2000 I 1은 강력하고 안정적인 웨이퍼 스테퍼로, 높은 처리량으로 정밀 패턴화 기능을 제공합니다. 외부 장치 및 컨트롤러와 쉽게 연결할 수 있는 '다중 노출' (multiple exposure) 과 '외부 장치' (external device) 및 '컨트롤러' (controller) 를 정확하게 배치하는 기능을 통해 반도체 장치 제작에 이상적인 선택이 가능합니다.