판매용 중고 CANON FPA 2000 i1 #293591390

CANON FPA 2000 i1은 높은 처리량과 뛰어난 정확도로 정확한 석판 이미징을 제공하도록 설계된 웨이퍼 스테퍼입니다. 2 개의 레이저, 인터페이스 형 정기 정렬 장비 및 고급 조명기/검출기 기술이 특징입니다. 정교한 DMS (Defocus Monitor System) 도 안정적인 노출을 보장합니다. 이 장치는 이중 소스 옵티컬 픽업 헤드 (optical pickup head) 기술로 구동되며, 고해상도 이미징을 제공 할 수있는 고급 조명기 (illuminator-detector) 조합이 있습니다. DMS는 단일 레이어 및 다중 레이어 저항 노출 (multiple layer resist exposure) 모두에 대해 균일 한 반복 노출 용량 및 패턴 배치를 제공합니다. 디포커스 및 스테이지 왜곡 보정을 위해 Optics 유닛에 대한 실시간 피드백을 제공합니다. 전체 5축 동작은 CANON 고정밀 동작 제어기를 사용하여 유지됩니다. CANON FPA2000-I1은 20 나노 미터의 고해상도 이미징을 제공하며, 이는 현재 많은 마이크로 세공 프로세스에 필요합니다. 이 도구는 2 개의 레이저로 설계되었으며, 노출 정확도를 극대화하기 위해 함께 사용됩니다. 또한 정교한 DMS (Defocus Monitor Asset) 가 특징이며, 현재 응용 프로그램에 적응하여 각 필드를 스캔하고 스테이지 수차로 인한 패턴 배치의 편차를 자동으로 보상할 수 있습니다. 이 모델에는 지능형 조명 장치 (Intelligent Illuminator) 가 내장되어 있으며, 가장 까다로운 저항 노출 요구 사항을 신뢰할 수있는 반복 기능을 제공합니다. 이 소프트웨어의 기능에는 스캔 라인 최적화, 마스크 최적화, 필드 인덱싱, 패턴 세분화 등이 있습니다. 또한 FPA-2000I1 은 자동화되어 자동 교정, 자가 진단, 장애 처리, 고밀도 초점 및 노출 제어 기술 수행을 위한 온보드 Z 깊이 최적화 등의 포괄적인 운영 모드를 제공합니다. 전반적으로 CANON FPA 2000 I 1은 고급 웨이퍼 스테퍼로, 정밀 리소그래피 이미징을 제공하여 탁월한 정확성과 신뢰성을 제공합니다. 이 시스템은 2 개의 레이저, 인터페이스 형 정기 정렬 장비 및 정교한 DMS (Automated Customized Operation Mode) 의 고해상도 이미징을 제공할 수 있습니다. 내장형 조명 장치 (Illuminator) 와 다양한 인상적인 기능을 갖춘 이 장치는 마이크로패브라이션 (Microfabrication) 프로세스를 한 단계 높일 수 있는 최적의 선택입니다.