판매용 중고 CANON FPA 2000 i1 #10608

CANON FPA 2000 i1은 반도체 업계의 가장 높은 정확성과 성능 요구 사항을 충족하도록 설계된 최첨단 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 장비는 최대 200mm 크기의 반도체 웨이퍼 (wafer) 를 갖추고 있으며 일련의 고급 이미징 기술 및 모션 컨트롤을 제공합니다. CANON FPA2000-I1은 원형, 다중 형태 및 매우 높은 종횡비를 포함한 다양한 노출 형식을 지원합니다. 또한 이진 반복, 복합 샷, 초고 종횡비 및 초고속 선 너비의 갱 패턴 (gang pattern) 을 포함하여 광범위한 노출 패턴을 지원합니다. FPA-2000I1 은 동급 유일한 다중 이미지 및 다중 영역 스테퍼 성능을 제공하는 시스템입니다. 다중 영역 스테퍼 (multi-zone stepper) 기능을 통해 장치가 전체 웨이퍼 전체에 걸쳐 노출 필드를 세밀하게 조정하여 정확도와 성능을 향상시킬 수 있습니다. 이 기계에는 고급 패턴 모델러와 통합 도량형 도구가 있습니다. 패턴 모델러는 각 노출의 위치를 정확하게 추정하고 모든 웨이퍼 왜곡을 보상합니다. 도량형 자산은 고정밀 레이저 스캔을 사용하여 각 노출을 정확하게 배치합니다. CANON FPA-2000 I1에는 빠르고 정확한 정렬, 노출, 웨이퍼 이동이 가능한 차세대 모션 컨트롤러가 장착되어 있습니다. 또한이 모델에는 자동 초점 및 CCD 이미징 조합과 하위 픽셀 정확도를 사용하는 하이브리드 (hybrid) 정렬 장비가 있습니다. 또한 CANON FPA-2000 I 1은 차세대 이미지 합성 알고리즘과 사용자 친화적 인 그래픽 사용자 인터페이스로 설계되었습니다. 전반적으로 CANON FPA 2000 I 1은 반도체 산업의 정확한 표준을 충족하도록 설계된 고성능 웨이퍼 스테퍼입니다. 탁월한 성능, 정확성, 신뢰성을 제공하여 Wafer Fabrication을 위한 안정적인 선택입니다.