판매용 중고 CANON FPA 1550 MARK IV-W #9296952

CANON FPA 1550 MARK IV-W
ID: 9296952
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 1995
Wafer stepper, 6" 1995 vintage.
CANON FPA 1550 MARK IV-W는 리소그래피, 에칭 및 결합과 같은 웨이퍼 제작 프로세스에 사용하도록 설계된 Wafer Stepper입니다. 매우 소규모로 칩을 배치할 수 있는 고정밀도 (high-precision) 툴로, 컴퓨터 칩, 집적회로와 같은 고밀도 장치를 제작하는 데 적합합니다. CANON FPA 1550 MARK IVW에는 매우 민감한 AVAS (Auto-Vision Alignment Equipment) 가 장착되어 있어 장치를 신속하게 정렬하고 구성 요소를 정확하게 배치할 수 있습니다. 따라서 운영 프로세스가 매우 효율적이고 경제적입니다. FPA-1550 MARK IV-W에는 정확한 고속 4 축 모션 플랫폼이 장착되어 있어 최대 정확도로 최대 2,500mm/s (1,600 인치/s) 의 칩과 웨이퍼를 이동할 수 있습니다. 모션 플랫폼은 또한 진동, 온도 변동, 기류 (air current) 와 같은 환경 변화를 보완하는 옵토 전자 시스템 (opto-electronic system) 을 갖추고 있어 작동이 항상 안정적으로 유지됩니다. 이러한 기능을 통해 고성능, 초고속 장치를 생산할 수 있습니다. 카논 FPA-1550 마크 IV-W (CANON FPA-1550 MARK IV-W) 에는 동작 기능 외에도 웨이퍼 표면에 도넛 모양의 둥근 가장자리 패턴을 정확하게 정의 할 수있는 리소그래피 유닛이 장착되어 있습니다. 이것은 밀도가 높고 정확하게 패턴화 된 상호 연결을 사용하여 장치를 제작하는 데 유용합니다. FPA 1550 MARK IV-W의 다른 기능으로는 자동 웨이퍼 인식, 단단한 덮개 제어, 저진동 작동을위한 무방비 구조, 고온 결합 공정의 일정한 온도를 유지하는 열하중 잠금 챔버 등이 있습니다. FPA 1550 MARK IVW는 직경 450mm의 대용량 웨이퍼를 포함하여 다양한 미디어와 호환됩니다. 또한 데이터 수집 및 관리를 실시간으로 수행할 수 있게 해 주는 고급 DataMan (Data Man) 머신을 통해 운영 라인을 최적화할 수 있습니다. 또한 운영 프로세스의 특정 요구에 맞게 조정, 사용자 정의할 수 있으며, 다른 디바이스와 원활하게 연동하여 사용할 수 있습니다 (영문). 전체적으로 CANON FPA 1550 MARK IV-W는 강력하고, 다양하며, 신뢰할 수있는 웨이퍼 스테퍼로, 고밀도 초고급 장치를 제조하는 데 적합합니다. 고정밀 동작 기능, 리소그래피 도구, opto-electronic 에셋을 통해 높은 수율을 자랑하는 복잡한 장치를 손쉽게 생산할 수 있고, 비용 효율성을 보장할 수 있습니다. 또한 탁월한 모니터링 및 데이터 수집 (Data Acquisition) 기능을 제공하여 운영 프로세스를 보다 효율적으로 추적할 수 있습니다.
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