판매용 중고 CANON FPA 1550 MARK IV-W #9033673

웨이퍼 스테퍼 인 CANON FPA 1550 MARK IV-W (Mark IV-W) 는 연약한 기판에서 높은 정밀 기능을 생산하도록 설계된 완전 자동화 석판화 장비입니다. 이 기계는 25 nm 의 작은 라인 너비에 도달하여 반도체 집적회로, MEMS 장치, 기타 유사 제품의 생산을 가능하게합니다. CANON FPA 1550 MARK IVW는 고급 옵티컬 시스템과 독보적인 듀얼 소스 시스템을 사용하여 일반 (regular) 이미지와 리버스 (reverse) 이미지를 모두 생성하므로 노출 무결성이 향상됩니다. 정전기 (정전기) 와 자기장 (magnetic field) 을 활용하여 기질의 위치와 방향을 매우 정확한 방식으로 제어 할 수 있습니다. 이것은 고강도 노출 광원과 넓은 수치 조리개가있는 다양한 렌즈 (lenses) 와 결합됩니다. 이 장치에는 2 단계 프로세스를 사용하는 자동 정렬 기계도 포함되어 있습니다. 조잡한 정렬 스캐닝 도구 (alignment scanning tool) 를 사용하여 적절한 정렬을 신속하게 결정하며, 와퍼와 기판의 정렬을 미세하게 조정하는 데 사용되는 미세 정렬 스캐닝 에셋 (fine alignment scanning asset) 도 포함합니다. 이를 통해 기판에 이미지를 정확하게 등록 할 수 있습니다. FPA-1550 MARK IV-W에는 기판 온도의 정확한 조절을 보장하는 고급 단계 난방 및 냉각 모델도 장착되어 있습니다. 이를 통해 큰 온도 변화에서도 포토 esist의 최적의 성능을 보장합니다. 전반적으로, FPA 1550 MARK IV-W는 고도로 고급 석판화 장비로, 25 nm 이하의 기능 크기의 연약한 기판에서 고도의 정밀 기능을 생성 할 수 있습니다. 이중 소스 시스템, 자동 정렬 스캐닝 (automated alignment scanning), 스테이지 난방 및 냉각 장치 (stage heating and cooling unit) 를 활용하여 일관되게 높은 품질의 결과를 얻을 수 있습니다.