판매용 중고 CANON FPA 1550 MARK IV-W #293589762
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ID: 293589762
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 1995
i-Line stepper, 6"
HP1000 PC
Jeida standard wafer
Wafer type: OF
Reticle, 5":
QUARTZ Material type
Changer type: CANON Changer type-2
Case type: CANON Changer type-1
Optical system:
UL21-LS Lenz type
Magnification: 1/5
Field size: 22 mm
Illumination system:
Light source: Ultra-high pressure mercury lamp, 2.0 kW
Light control: Estimate exposure total
Masking function: (4) Independent blades
Wafer loader:
Type-1 / Type-2
Alignment light / HeNe Laser / HeCD Laser
Wafer alignment:
Type-1 / Type-2
System / HeNe Laser image processing / HeCD Laser sensor
Mode / AGA
Reticle alignment:
Type-1 / Type-2
Alignment light / g-Line
System / g-Line, TV image processing
XY Stage:
Type-2: Rolling around type
Automatic focus:
Type-2: LED PSD OPTF, 5-Channels
Wafer leveling:
Type-2: 3 Points drive global / Die by die leveling system
Mechanical pre alignment:
Type-2: Peripheral noncontact system
TV Pre alignment:
Type-1 / Type-2
System / OFF-Axis TV Image system
Carrier / (2) Loaders/(2) Unloaders
Chamber:
Type: TBW-CD-30W
Cooling system: Refrigeration unit／Heater control
Set temperature:
Booth：21℃
Stage／Lenz: 23°C
Reticle feeder: (14) Store reticles
CCD Camera
Inline: Stand alone
Signal tower
HeNe Laser missing
1995 vintage.
CANON FPA 1550 MARK IV-W는 고급 이미징 기술을 사용하여 정밀 구조와 구성 요소를 미크론 수준으로 정확하게 제작하는 최첨단 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 통합 장비는 높은 NA 단계 및 스캔 리소그래피, 하위 미크론 정렬 정확도, 증분 단계 이동, 확장 해상도 범위, 확장 최소 기능 크기 등 다양한 정교한 기능을 제공합니다. 또한 모듈식 (modular) 아키텍처로 설계되었으며 특정 요구에 맞게 확장할 수 있습니다. CANON FPA 1550 MARK IVW는 복잡한 구조 및 구성 요소에 대한 사용자 정의 레이아웃 제작을 위해 높은 NA 단계 및 스캔 리소그래피를 제공합니다. 이 기능을 사용하면 최대 7G (7G) 의 속도로 정확하고 반복 가능한 이미지를 신속하게 제작할 수 있습니다. 시스템의 높은 NA 및 연속 스캔 (Continuous Scan) 작업은 서브 미크론 수준까지 초미세 해상도와 6.5 ~ 25nm의 확장 해상도를 제공합니다. FPA-1550 MARK IV-W의 정렬 정확도는 1 미크론이며 CANON Micromage 고급 정렬 장치에 통합됩니다. 이것은 분할 조명 (segmented illumination) 과 경계 영역 탐지 (collimated area detection) 의 조합을 사용하여 고효율적으로 구동됩니다. 이렇게 하면 "실리콘 ', 유리 및 석영 을 포함 하여 여러 가지 기판 재료 를 정확 하게 정렬 하고 가공 할 수 있다. 완전한 머신은 모듈 식 아키텍처를 가지고 있으며, 최대 10 개의 스테퍼 스테이지 (각각 최대 해상도 256 nm) 를 장착 할 수 있습니다. 컴포넌트는 위치 정보 (positional information) 와 피쳐 데이터를 저장하는 온보드 메모리 (on-board memory) 를 통해 컴포넌트의 정확한 배치를 보장합니다. 이 기능은 잠재적 오류를 줄이고 생산을 촉진합니다. CANON FPA-1550 MARK IV-W는 최소 왜곡과 0.2 미크론의 확장 된 최소 피쳐 크기로 다양한 기판을 수용 할 수 있습니다. CANON MicroMirror 진동 격리 및 CASA (Constant Acceleration Stress Absorber) 필터를 장착하여 진동 및 이미지 왜곡 위험을 효과적으로 줄입니다. 전반적으로 FPA 1550 MARK IV-W는 최첨단 스테퍼로, 미크론 이하의 해상도와 정확도로 정확한 구조와 부품을 생산할 수 있습니다. 또한 고급 정렬 도구 (Advanced Alignment Tool), 모듈식 아키텍처 (Modular Architecture) 및 진동 분리 (Vibration Isolation) 를 통해 최소한의 시간 동안 최적의 결과를 얻을 수 있습니다.
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