판매용 중고 CANON EX6 #9352053

CANON EX6은 반도체 칩 제작 프로세스에 사용되는 웨이퍼 스테퍼입니다. 그것 은 "웨이퍼 '에 가장 일관성 있게 상세 하고 복잡 한" 패턴' 을 만드는 데 사용 된다. 그것 은 "마스크 '의" 이미지' 를 "웨이퍼 '에 투영 하는 데 사용 되는 영상 거울 을 갖추고 있다. 대칭복사 (Mirror) 는 두 축을 동시에 기울이고 초점을 맞출 수 있으며, 따라서 정밀도가 가장 높은 배치 정밀도와 이미지 왜곡 교정이 가능합니다. EX6에는 새로운 고해상도 비율 확장기 (HRRE) 도 있습니다. 이 기술은 와퍼 (wafer) 의 전체 활성 영역에 대한 더 세밀한 선과 별의 초점을 위해 매우 정확하고 선명한 이미징 특성을 제공합니다. HRRE에는 마스크에서 웨이퍼로 빛을 안내하기 위해 8 개의 렌즈와 4 개의 거울이 장착되어 있으며, < 0.08 (m) 의 선과 표면의 프로파일 디스플레이를 제공합니다. 또한 CANON EX6은 특별한 3 차원 가속/감속 시스템을 갖추고 있으며, 이는 정밀도를 유지하면서 위치 지정 시간을 줄이고 생산성을 향상시킵니다. EX6은 DIS (Digital Image System) 를 통합하여 장치 확장의 향상을 촉진하기 위해 설계되었습니다. 이 시스템은 이미지 센서 어레이를 사용하며, 피드백 (feedback) 기술을 통합하여 패턴 해상도를 최적화하는 옵션을 제공합니다. DIS 를 사용하면 스테이지 이동 감속 속도 (stage movement deceleration speed) 와 스캐닝 속도 (scanning speed) 를 조정하여 웨이퍼를 마스크에 정확하게 배치할 수 있습니다. 이러한 놀라운 특징 외에도, 캐논 엑스 6 (CANON EX6) 은 스텝퍼에있는 동안 웨이퍼를 청소하기 위해 슈퍼 순수 워터 제트 (Super Pure Water Jet) 기술을 사용하여 웨이퍼의 입자 손상 및 입자 오염을 줄이기 위해 설계되었습니다. 또한 EX6 는 고급 진단 기능을 통해 사용자 정의 (alignment) 및 오버레이 (overlay) 매개변수를 사용자 정의할 수 있습니다. 직관적이고 사용자에게 친숙한 그래픽 인터페이스를 통해 사용자는 스테퍼 (stepper) 작업 데이터를 분석하고 작업 성능을 최적화할 수 있습니다. 캐논 엑스 6 (CANON EX6) 은 반도체 제조에 필요한 최고의 정확도, 정밀도 및 화질 이미지를 달성 할 수 있으며, 반도체 칩 제조에 참여하는 사람들에게 이상적인 선택입니다.