판매용 중고 CANON EX5 #293778968

CANON EX5는 CANON Inc.에서 제조 한 주력 웨이퍼 스테퍼입니다. 1986 년에 개발되었으며 30 년 이상 정밀 석판화의 업계 표준이되었습니다. 엑스 5 (EX5) 는 칩 제작과 같은 대용량 산업 응용프로그램을 위해 설계되었으며, 탁월한 정확도로 마이크로 미니어처와 복잡한 이미지를 생산할 수 있습니다. 캐논 엑스 5 (CANON EX5) 는 최대 10 "직경의 마스터 웨이퍼에서 이미지를 생성 할 수있는 단계 및 반복 장비입니다. 5 축 동작 기능이 장착되어 있어, 모든 위치 제어 (Full Positional Control) 및 마스터 및 타겟 웨이퍼의 정확한 정렬이 가능합니다. 이 시스템은 또한 고유한 다이 정렬 장치 (die alignment unit) 를 갖추고 있으며, 이를 통해 대상 웨이퍼에 개별 다이를 정확하게 배치할 수 있습니다. 높은 반복성과 위치적 정확성을 지닌 엑스 5 (EX5) 는 매우 높은 수준의 디테일과 균일성을 지닌 이미지를 만들 수 있다. CANON EX5는 CANON 특허 Sinusoid grating을 사용하며, 이는 표준 접촉 방법보다 더 세밀한 해상도를 가능하게하는 고급 사진 분석 기술입니다. 이것 은 "웨이퍼 '에" 레이저' 광선 의 정현파 배열 을 배치 하여 "웨이퍼 '에 특정 한 부위 를 노출 시키는 간섭 패턴 을 만들어 낸다. "렌즈 '와 그" 센터' 사이 의 각도 와 각도 를 조절 함 으로써 "웨이퍼 '에 여러 가지 구조 를 생성 하거나 수정 할 수 있다. EX5 는 또한 독특한 기판 난방 기술을 특징으로하며, 이를 통해 마스터 및 타겟 웨이퍼의 열적 균일성을 허용합니다. 이는 온도 변이로 인한 고르지 않은 패턴 확산 및 이미지 왜곡을 방지합니다. 또한, CANON EX5는 향상된 자동 초점 및 자동 초점 기반 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 를 제공하여 기계가 웨이퍼의 빠른 변화를 인식하고 그에 따라 초점을 빠르게 조정할 수 있습니다. 마지막으로, EX5 는 사용자 정의 렌즈 (customed lense) 뿐만 아니라 교환 가능한 마스크, 렌즈 (lense) 와 함께 사용할 수 있기 때문에 공구 설비 측면에서 높은 수준의 다용성을 제공합니다. 이를 통해 패턴화 (patterning) 및 리소그래피 (lithography) 옵션 측면에서 더 높은 정도의 사용자정의가 가능합니다. 이러한 모든 기능은 경제성과 결합하여 CANON EX5 (CANON EX5) 를 모든 산업 응용 분야에 이상적인 리소그래피 솔루션으로 만듭니다.